張 乾，譚立杰，程秀全，張永昌

(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所，北京 100176)

直線(xiàn)電機(jī)原理及其在精密工作臺(tái)中的應(yīng)用

張 乾，譚立杰，程秀全，張永昌

(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所，北京 100176)

激光劃切機(jī)能在高速加工情況下切割LED晶圓獲得干凈的斷裂面，形成窄而深的激光劃切槽，要達(dá)到這樣的工藝效果就要求激光劃切工作平臺(tái)同時(shí)具有較高的響應(yīng)速度、準(zhǔn)確的定位精度以及重復(fù)精度。首先對(duì)直線(xiàn)電機(jī)的原理進(jìn)行研究，根據(jù)其外形特點(diǎn)不同進(jìn)行分類(lèi)，通過(guò)對(duì)比為精密工作臺(tái)系統(tǒng)選擇合適的直線(xiàn)電機(jī)類(lèi)型，建立動(dòng)力學(xué)數(shù)學(xué)模型，研究直線(xiàn)電機(jī)在精密工作臺(tái)系統(tǒng)的應(yīng)用。

直線(xiàn)電機(jī)；動(dòng)力學(xué)模型；精密工作臺(tái)；激光劃切機(jī)

目前應(yīng)用于激光劃切設(shè)備領(lǐng)域的工作臺(tái)普遍采用大理石基座來(lái)提高設(shè)備的穩(wěn)定性，以及減小加工震動(dòng)，由于對(duì)精密運(yùn)動(dòng)控制的要求尤其高，一般采用直線(xiàn)電機(jī)作為承片臺(tái)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，工作臺(tái)采用十字疊加方式，主要由x、y方向運(yùn)動(dòng)，所以對(duì)x、y方向的直線(xiàn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制研究變得尤為重要，這也成為提高激光劃切設(shè)備工藝加工成品率的關(guān)鍵技術(shù)之一。本文針對(duì)直線(xiàn)電機(jī)的原理和分類(lèi)進(jìn)行詳細(xì)論述，并進(jìn)行建模分析，找出直線(xiàn)電機(jī)影響運(yùn)動(dòng)效果的關(guān)鍵因素。

1 直線(xiàn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)

直線(xiàn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)形式是沿直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，不同于旋轉(zhuǎn)電機(jī)需要螺紋傳動(dòng)裝置。直線(xiàn)電機(jī)由旋轉(zhuǎn)電機(jī)轉(zhuǎn)化而來(lái)，將旋轉(zhuǎn)電機(jī)按其圓柱形徑向橫截面切開(kāi)，平鋪展成平面結(jié)構(gòu)，就形成了直線(xiàn)電機(jī)，如圖1所示。旋轉(zhuǎn)電機(jī)結(jié)構(gòu)是由動(dòng)子和定子組成，線(xiàn)圈繞組一端的是定子，而中間自由旋轉(zhuǎn)的一端是動(dòng)子，由旋轉(zhuǎn)電機(jī)定子展開(kāi)的一側(cè)稱(chēng)為直線(xiàn)電機(jī)初級(jí)，由旋轉(zhuǎn)電機(jī)動(dòng)子展開(kāi)的一側(cè)稱(chēng)為直線(xiàn)電機(jī)次級(jí)?？梢钥闯鼍€(xiàn)圈繞組在旋轉(zhuǎn)電機(jī)結(jié)構(gòu)中是定子，固定不動(dòng)，而在直線(xiàn)電機(jī)結(jié)構(gòu)中是初級(jí)，可以相對(duì)運(yùn)動(dòng)。由于直線(xiàn)電機(jī)的形成特點(diǎn)，直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)和次級(jí)都可以延伸的很長(zhǎng)，到達(dá)運(yùn)動(dòng)需要達(dá)到的任何位置，可以將直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)或者次級(jí)固定，移動(dòng)次級(jí)或初級(jí)，實(shí)現(xiàn)自由運(yùn)動(dòng)，應(yīng)用到精密工作臺(tái)系統(tǒng)的各種場(chǎng)合。

圖1 直線(xiàn)電機(jī)的由來(lái)

將旋轉(zhuǎn)電機(jī)沿徑向切開(kāi)展開(kāi)來(lái)的直線(xiàn)電機(jī)，它的初級(jí)長(zhǎng)度和次級(jí)長(zhǎng)度相等，由于在實(shí)際運(yùn)動(dòng)中初級(jí)和次級(jí)的接觸面始終不同，耦合不好，不能進(jìn)行正常運(yùn)動(dòng)。為了讓直線(xiàn)電機(jī)在整個(gè)行程內(nèi)的耦合保持不變，初級(jí)和次級(jí)的長(zhǎng)度要不一樣。通常情況下，有兩種形式比較常見(jiàn)，一種初級(jí)短次級(jí)長(zhǎng)，另一種是初級(jí)長(zhǎng)次級(jí)短。

2 直線(xiàn)電機(jī)的分類(lèi)

直線(xiàn)電機(jī)根據(jù)結(jié)構(gòu)劃分主要分為扁平型、圓筒型、圓盤(pán)型和圓弧型。

直線(xiàn)電機(jī)根據(jù)工作原理劃分可以分為有鐵芯型直線(xiàn)電機(jī)和無(wú)鐵芯型直線(xiàn)電機(jī)，其中無(wú)鐵芯型直線(xiàn)電機(jī)又稱(chēng)U型槽電機(jī)。

有鐵芯電機(jī)將初級(jí)銅繞組包在鐵芯的外面，作為施力部件，再將其放在磁軌上，如圖2所示，后側(cè)鐵和磁軌之間產(chǎn)生磁通，并循環(huán)往復(fù)進(jìn)行，同時(shí)后側(cè)鐵和磁軌之間的間隙也能夠?qū)﹄姍C(jī)進(jìn)行充分散熱，實(shí)現(xiàn)快速冷卻。有鐵芯電機(jī)的每個(gè)鐵芯和繞組單元都有很強(qiáng)的作用力，所以相比有鐵芯電機(jī)它的力矩要大很多。

圖2 有鐵芯直線(xiàn)電機(jī)

有鐵芯電機(jī)的固有結(jié)構(gòu)同時(shí)也出現(xiàn)了很多缺點(diǎn)，其中一個(gè)缺點(diǎn)是電機(jī)的初級(jí)施力部件和次級(jí)磁軌之間的吸引力太大，這個(gè)引力值相當(dāng)于電機(jī)額定作用力的5～13倍。這么巨大的吸引力使得電機(jī)的軸承系統(tǒng)必須為該作用力提供有力支撐，否則電機(jī)安裝完成后運(yùn)行一段時(shí)間會(huì)出現(xiàn)磁軌彎曲變形，嚴(yán)重影響工作臺(tái)的精度，對(duì)于這種有鐵芯的直線(xiàn)電機(jī)機(jī)械機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)顯得尤為重要。有鐵芯電機(jī)的另外一個(gè)缺點(diǎn)是存在齒槽力，利用鐵芯對(duì)直線(xiàn)電機(jī)施加一個(gè)水平力，這樣電機(jī)初級(jí)線(xiàn)圈繞組就能安置在次級(jí)磁軌上的合適位置，這時(shí)候會(huì)出現(xiàn)齒槽效應(yīng)，位置不同電機(jī)所產(chǎn)生的作用力不同，速度也就不同，這樣在磁軌不同位置的平穩(wěn)性會(huì)有很大區(qū)別。

直線(xiàn)電機(jī)的線(xiàn)圈繞組放在兩個(gè)磁軌之間，線(xiàn)圈繞組中間沒(méi)有任何鐵芯，因而稱(chēng)作無(wú)鐵芯電機(jī)，又稱(chēng)為“U型”電機(jī)，如圖3所示。有鐵芯電機(jī)的銅繞組位于兩排磁軌中間的氣隙內(nèi)，然后用防水材料包裹起來(lái)，由于兩個(gè)磁軌和線(xiàn)圈繞組之間互相分離，就不會(huì)產(chǎn)生吸引力或齒槽力。

圖3 無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機(jī)

無(wú)鐵芯電機(jī)中的施力部件的質(zhì)量比有鐵芯電機(jī)中的施力部件質(zhì)量小，這種結(jié)構(gòu)的整體動(dòng)態(tài)性能好，容易產(chǎn)生很大的加減速度。無(wú)鐵芯結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒槽效應(yīng)，也沒(méi)有吸引力，因此可以增加軸承的使用壽命，在某些情況下還可以使用更小的軸承。無(wú)鐵芯電機(jī)結(jié)構(gòu)具有出色的動(dòng)態(tài)性能，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)齒槽效應(yīng)，所以功能非常強(qiáng)大，但是它們的散熱效率不如有鐵芯電機(jī)。因?yàn)榻佑|面積較小，從繞組底座到冷卻板的導(dǎo)熱通道較長(zhǎng)，所以這些電機(jī)的滿(mǎn)負(fù)載功率較低。此外，為了達(dá)到合適的作用力和行程而采用的雙排磁體結(jié)構(gòu)也增加了這個(gè)電機(jī)的總成本。

3 直線(xiàn)電機(jī)的原理

旋轉(zhuǎn)電機(jī)通入U(xiǎn)-V-W三相交流電流后，動(dòng)子和定子之間產(chǎn)生氣隙磁場(chǎng)，根據(jù)楞次定律，動(dòng)子相對(duì)于定子就會(huì)產(chǎn)生相對(duì)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。直線(xiàn)電機(jī)的工作原理與旋轉(zhuǎn)電機(jī)相同，當(dāng)給直線(xiàn)電機(jī)通電后，它的初級(jí)和次級(jí)之間同樣產(chǎn)生氣隙磁場(chǎng)，由于氣隙磁場(chǎng)的作用直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)和次級(jí)之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在旋轉(zhuǎn)電機(jī)內(nèi)部產(chǎn)生的磁場(chǎng)叫做旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，在直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)和次級(jí)之間產(chǎn)生的磁場(chǎng)叫做行波磁場(chǎng)。直線(xiàn)電機(jī)通入三相交流電后，根據(jù)楞次定律，在初級(jí)線(xiàn)圈中產(chǎn)生磁通，次級(jí)金屬板上感應(yīng)出電流，最后轉(zhuǎn)變成電磁推力，這樣直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)和次級(jí)之間就會(huì)產(chǎn)生相對(duì)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。設(shè)直線(xiàn)電機(jī)次級(jí)金屬板上有電阻R和電感L，引起渦流的感應(yīng)電壓為E，渦流電流和磁通密度按照費(fèi)來(lái)明法則在次級(jí)上產(chǎn)生連續(xù)的推力F。直線(xiàn)電機(jī)初級(jí)線(xiàn)圈的兩端斷開(kāi)，會(huì)產(chǎn)生縱向邊端效應(yīng)，本文中忽略初級(jí)邊端效應(yīng)影響，將三相交流電通入到直線(xiàn)電機(jī)初級(jí)繞組中，就會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)效應(yīng)作用于初級(jí)和次級(jí)，隨著輸入的A-B-C三相交流電流隨時(shí)間變化，產(chǎn)生的氣隙磁場(chǎng)也會(huì)沿直線(xiàn)移動(dòng)，移動(dòng)方向按A-B-C三相交流電流相序方向。行波磁場(chǎng)沿直線(xiàn)方向展開(kāi)后表現(xiàn)為正弦波分布，它的移動(dòng)速度稱(chēng)為同步速度設(shè)定為vs，設(shè)為三相正弦電流頻率，τ為直線(xiàn)電機(jī)電磁極距，則同步速度vs=2f τ，如圖4所示。

圖4 直線(xiàn)電機(jī)基本工作原理

直線(xiàn)電機(jī)初級(jí)繞組線(xiàn)圈中輸入三相交流電流，初級(jí)和次級(jí)之間產(chǎn)生行波磁場(chǎng)，假設(shè)次級(jí)為柵形次級(jí)，是由無(wú)數(shù)導(dǎo)條組成的，行波磁場(chǎng)不停切割次級(jí)導(dǎo)條，在次級(jí)導(dǎo)條中產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，也就會(huì)生成次級(jí)柵形導(dǎo)條感應(yīng)電流，它和行波磁場(chǎng)互相作用，初級(jí)和次級(jí)之間產(chǎn)生電磁推力。但是直線(xiàn)電機(jī)次級(jí)結(jié)構(gòu)不是由很多導(dǎo)條排列的，大多數(shù)是整塊采用金屬板形成。圖5為假想導(dǎo)條中的感應(yīng)電流及金屬板內(nèi)電流的分布情況。

直線(xiàn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)方向控制可以通過(guò)改變交流三相電流的方向來(lái)實(shí)現(xiàn)，也就是說(shuō)可以調(diào)換初級(jí)繞組線(xiàn)圈上的任意兩根線(xiàn)，這個(gè)原理和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的原理相同。三相繞組的相序方向相反，行波磁場(chǎng)的方向也就相反，直線(xiàn)電機(jī)也就可以向相反方向運(yùn)動(dòng)了。通過(guò)交換三相電壓的方式改變電機(jī)的移動(dòng)方向，在現(xiàn)實(shí)工程應(yīng)用中得到了廣泛使用，一般情況下，運(yùn)動(dòng)器根據(jù)控制器的運(yùn)動(dòng)方向要求會(huì)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)換相操作，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換相。

圖5 次級(jí)導(dǎo)體中的電流

直線(xiàn)電機(jī)采用單邊型結(jié)構(gòu)的無(wú)鐵芯電機(jī)，將固定在工作臺(tái)上的初級(jí)成為定子，帶動(dòng)工作臺(tái)自由移動(dòng)的次級(jí)成為動(dòng)子。直線(xiàn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)由電機(jī)定子、形成均勻磁場(chǎng)的永磁體、動(dòng)子、直線(xiàn)軸承、剛度相同的雙預(yù)壓彈簧、導(dǎo)軌及位移檢測(cè)裝置組成。直線(xiàn)電機(jī)中電機(jī)參數(shù)會(huì)根據(jù)電機(jī)的實(shí)際使用情況而略顯不同，工作環(huán)境中又存在各種電磁耦合，同時(shí)定子兩端斷開(kāi)存在邊端效應(yīng)，對(duì)直線(xiàn)電機(jī)建立精確的數(shù)學(xué)模型是比較困難的事情，為了建立直線(xiàn)電機(jī)的數(shù)學(xué)建模，又能反映數(shù)學(xué)模型對(duì)直線(xiàn)電機(jī)的性能，做出如下假設(shè)：

（1）假設(shè)定子繞組完全對(duì)稱(chēng)，各相繞組的電阻值和匝數(shù)相同；

（2）渦流損耗、磁路飽和、磁滯損耗忽略不計(jì)；

（3）忽略齒槽效應(yīng)；

（4）假設(shè)氣隙大小恒定，行波磁場(chǎng)恒定，忽略勵(lì)磁電流影響；

（5）忽略直線(xiàn)電機(jī)的邊端效應(yīng)；

（6）動(dòng)子和定子上都沒(méi)有阻尼繞組；

（7）假設(shè)磁鐵的電導(dǎo)率為零，磁場(chǎng)恒定不變；

（8）直線(xiàn)電機(jī)的反電動(dòng)勢(shì)，設(shè)為標(biāo)準(zhǔn)正弦波。

直線(xiàn)電機(jī)輸入三相交流電，通過(guò)電流大小變化來(lái)控制直線(xiàn)電機(jī)的速度、位置等參數(shù)，也就是由輸入動(dòng)子繞組線(xiàn)圈的電壓U(t)會(huì)在繞組線(xiàn)圈回路中產(chǎn)生電流I(t)，根據(jù)右手定則電流I(t)與磁場(chǎng)之間相互作用產(chǎn)生動(dòng)子的電磁推力，這樣電機(jī)就可以直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。將直線(xiàn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)方程分成三部分組成：分別是線(xiàn)圈回路電壓平衡方程、電磁力方程、動(dòng)子的力平衡方程。

將直線(xiàn)電機(jī)等效為圖6所示電路。

圖6 直線(xiàn)電機(jī)等效電路

設(shè)R為線(xiàn)圈繞組回路電阻、L為線(xiàn)圈回路電感、E為線(xiàn)圈回路電感以及線(xiàn)圈移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的反電勢(shì)，公式(1)為動(dòng)子線(xiàn)圈繞組的電壓平衡方程：

設(shè)電機(jī)的電磁力為F(t)，km表示電磁力與電樞電流之比，是直線(xiàn)電機(jī)的力常數(shù)，I(t)為線(xiàn)圈繞組中的電流，則電磁力方程見(jiàn)公式(2)：

直線(xiàn)電機(jī)的負(fù)載一般情況下是動(dòng)子質(zhì)量與負(fù)載的質(zhì)量之和，稱(chēng)為慣性負(fù)載。因此將直線(xiàn)電機(jī)動(dòng)子的機(jī)械運(yùn)動(dòng)簡(jiǎn)化為一般機(jī)械位移系統(tǒng)，動(dòng)力學(xué)模型為“單自由度的彈簧－質(zhì)量－阻尼器”，如圖7所示。

圖7 直線(xiàn)電機(jī)的動(dòng)力學(xué)模型

則直線(xiàn)電機(jī)動(dòng)子上的力平衡方程見(jiàn)公式(3)：

式中，m為直線(xiàn)電機(jī)的負(fù)載質(zhì)量，c為阻尼系數(shù)，k為彈簧的彈性剛度，x(t)為動(dòng)子直線(xiàn)位移。

將式(1)、(2)和(3)中消去中間變量 F(t)、I(t)、E，得出以動(dòng)子直線(xiàn)位移x(t)為輸入量，線(xiàn)圈回路電壓U(t)為輸出量的微分方程見(jiàn)公式(4)：

線(xiàn)圈電感L較小，實(shí)測(cè)值為1.312 mH，電流信號(hào)頻率和感抗與此有關(guān)，低頻時(shí)可以將其忽略不計(jì)，則式(4)將變?yōu)楣?5)：

式中，Tm為電機(jī)的機(jī)電時(shí)間常數(shù)，K1、K2為電機(jī)的傳遞系數(shù)。

機(jī)電時(shí)間常數(shù)Tm是一個(gè)非常重要的參數(shù)，它的大小將影響直線(xiàn)電機(jī)的加速度和減速度性能，機(jī)電時(shí)間常數(shù)Tm越小，系統(tǒng)響應(yīng)速度越快，越容易達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。Tm見(jiàn)公式(6)所示：

由公式(6)可知，要想提高其響應(yīng)速度，降低機(jī)電時(shí)間常數(shù)Tm值，可以提高磁通密度Bf。

通過(guò)對(duì)幾種直線(xiàn)電機(jī)的特性分析，選擇激光劃切機(jī)工作臺(tái)需要的電機(jī)類(lèi)型。從結(jié)構(gòu)上，直線(xiàn)電機(jī)類(lèi)型根據(jù)初級(jí)和次級(jí)的結(jié)構(gòu)不同，選用扁平型直線(xiàn)電機(jī)搭建x、y工作臺(tái)系統(tǒng)。從原理上，根據(jù)初級(jí)是否含有鐵芯分為兩類(lèi)，選用無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機(jī)來(lái)避免由于法向吸力造成的導(dǎo)軌彎曲問(wèn)題。電機(jī)采用Akribis的AUM系列直線(xiàn)電機(jī)，根據(jù)平臺(tái)要求工作臺(tái)運(yùn)行速度600 mm/s，經(jīng)分析確定x軸加速度和減速度為9 m/s2，設(shè)行程350 mm，則加減速時(shí)間ta=td=0.067 s，x軸負(fù)載為35 kg，假設(shè)摩擦系數(shù)為0.02，則電機(jī)驅(qū)動(dòng)負(fù)載時(shí)所受摩擦力Fd=0.7 N，此時(shí)電機(jī)所需的

加速力為：Fa=M·a+Fr=35×9+0.7=315.7 N，減速力為：Fd=M·a-Fr=35×9-0.7=314.3 N，則電機(jī)輸出的均方根力為：

取20%安全余量，計(jì)算出持續(xù)推力Frms=182.32×(1+0.2)=218.78(N)。

取20%安全余量，計(jì)算出峰值推力：Fmax=(Fa，F(xiàn)d，F(xiàn)r)max=378.84(N)

經(jīng)選型確定x軸電機(jī)為Akribis公司的無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機(jī)AUM4-S4系列，同理y電機(jī)經(jīng)過(guò)選型計(jì)算選擇AUM4-S3系列，激光劃切工作臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)為十字疊加工作臺(tái)。

4 在精密工作臺(tái)中的應(yīng)用

直線(xiàn)電機(jī)在工作臺(tái)應(yīng)用上具有響應(yīng)快速，速度要求范圍寬，定位精度高，行程長(zhǎng)短可以定制，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定、噪聲低等一系列的優(yōu)勢(shì)，是市場(chǎng)應(yīng)用比較廣闊的電機(jī)。由于直線(xiàn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)是基于旋轉(zhuǎn)電機(jī)形成的，它的伺服運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)也具有伺服旋轉(zhuǎn)電機(jī)的特點(diǎn)。直線(xiàn)電機(jī)雖然具有許多旋轉(zhuǎn)電機(jī)沒(méi)有的優(yōu)點(diǎn)但是也存在一些缺點(diǎn)，如：直線(xiàn)電機(jī)的初級(jí)兩端是斷開(kāi)的，會(huì)產(chǎn)生端部效應(yīng)，形成不對(duì)稱(chēng)磁場(chǎng)，出現(xiàn)畸變的勵(lì)磁電流存在，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中有波動(dòng)問(wèn)題產(chǎn)生；相同規(guī)格的直線(xiàn)電機(jī)氣隙比旋轉(zhuǎn)電機(jī)的大，這與電氣參數(shù)、加工材料及精度等原因有關(guān)，效率方面也就略大些，直線(xiàn)電機(jī)的成本由于機(jī)械加工精度要求高而顯得更高。旋轉(zhuǎn)電機(jī)已經(jīng)系列化，并得到廣泛應(yīng)用，直線(xiàn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)多種多樣，根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合的不同而不同，同時(shí)直線(xiàn)電機(jī)主要用于一些高端、精密的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中。

在精密半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，由于半導(dǎo)體設(shè)備精密工作臺(tái)系統(tǒng)通常要求大行程、高速、高精度的運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)，采用直線(xiàn)電機(jī)是一個(gè)比較好的選擇，在半導(dǎo)體光刻、印刷、切割以及化學(xué)拋光等各個(gè)領(lǐng)域，直線(xiàn)電機(jī)都有比較好的表現(xiàn)。

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The Principle of Liner Motor and Application in Precision Stage

ZHANG Qian，TAN Lijie，CHENG Xiuquan，ZHANG Yongchang

(The 45thResearch Institute of CETC，Beijing 100176，China)

Laser cutting machine make cutting LED wafer to get clean fracture surface in the high-speed machining，and get laser cutting narrow and deep cracks，to achieve the effect of this process it requires the laser dicing working platform has the advantages of high speed，high precision，rapid positioning features.This paper first introduces the principle and structure，and selects the appropriate motor system.The linear motor features compared with the rotary motor.Linear motor mathematical model is established，which includes dynamic model，The application of linear motor in the system of precision working table is studied.

Linear motor；Dynamic model；Precision working table；Laser cutting machine

TM359.4

B

1004-4507(2017)06-0070-05

2017-09-16