陳迎志

(文一三佳科技股份有限公司集成電路封測裝備安徽省重點實驗室，安徽銅陵244000)

直線導(dǎo)軌是機(jī)械運(yùn)動過程中通常使用的一種標(biāo)準(zhǔn)件，在半導(dǎo)體專用塑封設(shè)備中得到廣泛地應(yīng)用。它的作用是用來支撐和引導(dǎo)運(yùn)動部件，依靠導(dǎo)軌兩側(cè)兩列或四列滾珠循滾動，從而帶動工作臺按給定的直線方向在高負(fù)載的情況下，實現(xiàn)高精度而且平穩(wěn)的往復(fù)直線運(yùn)動。圖1所示為直線導(dǎo)軌，由直線滑軌和滑座組成。工作臺與滑座螺釘相連，在電機(jī)絲杠或同步帶的驅(qū)動下，工作臺與滑座一起在直線滑軌上作往復(fù)直線運(yùn)動。

圖1 直線導(dǎo)軌

1 直線導(dǎo)軌的定位方式

直線導(dǎo)軌如何定位裝夾的呢？根據(jù)設(shè)計要求，直線導(dǎo)軌應(yīng)固定導(dǎo)軌支架安裝面上，安裝面上設(shè)計臺階定位或以銷釘定位，如圖2所示。

圖2 直線導(dǎo)軌的定位方式

圖2中為雙排導(dǎo)軌安裝。雙排直線導(dǎo)軌安裝分主導(dǎo)軌安裝和副導(dǎo)軌安裝，在導(dǎo)軌支架上安裝雙排直線導(dǎo)軌時，首先將主導(dǎo)軌定位，目前比較普遍的是銷釘定位或臺階定位，要求將導(dǎo)軌安裝基準(zhǔn)面（導(dǎo)軌上有標(biāo)記）與定位臺階或定位銷緊密接觸，主導(dǎo)軌安裝完畢后，再安裝副導(dǎo)軌。

2 直線導(dǎo)軌的裝配過程及調(diào)試方法

2.1 安裝前準(zhǔn)備

（1）直線導(dǎo)軌安裝所用工具準(zhǔn)備：油石，防銹油，扭力扳手，細(xì)棉手套，千分表，水平儀，銅棒等。

（2）導(dǎo)軌安裝面的清潔處理；對于臺階定位的安裝部位的倒角必須符合圖紙要求，若發(fā)現(xiàn)倒角過大或凸出，應(yīng)及時采用油石和銼刀處理，否則會造成導(dǎo)軌安裝精度不良或者會干涉滑塊。必須用油石去除直線導(dǎo)軌的安裝基準(zhǔn)面與導(dǎo)軌側(cè)安裝基準(zhǔn)面上的毛刺和傷痕（如圖3所示），尤其要注意直角處空刀槽的清理，用棉質(zhì)干凈抹布擦拭干凈安裝表面。

圖3 去除毛刺和劃痕

安裝用螺紋孔必須符合圖紙要求，使用前需確認(rèn)導(dǎo)軌過孔與安裝面螺紋孔同心度，試用螺釘輕旋，螺釘受力均勻無阻滯視為合格。若導(dǎo)軌與安裝孔同心度差，強(qiáng)行擰緊螺栓，會嚴(yán)重影響組合精度與使用品質(zhì)，此種情況下不允許裝配。再用磁力吸棒或氣吹清理干凈螺紋孔內(nèi)的鐵屑，用清洗劑清洗干凈螺紋孔內(nèi)的防銹油等。

2.2 裝配過程

首先檢查緊固滑軌用的螺栓等級必須為12.9級，然后檢查確認(rèn)直線導(dǎo)軌的安裝基準(zhǔn)面，安裝時先將安裝表面上低黏度的防銹油擦拭干凈，然后將主導(dǎo)軌輕輕放置在導(dǎo)軌安裝板的安裝基準(zhǔn)面上，安裝時不允許把滑座從導(dǎo)軌上拆下來。要求安裝的全過程必須為戴手套操作，因為汗液容易導(dǎo)致直線導(dǎo)軌生銹。禁止在直線導(dǎo)軌上踩踏和堆放任何物品。

直線導(dǎo)軌的側(cè)向定位安裝：

直線導(dǎo)軌的主導(dǎo)軌也是基準(zhǔn)導(dǎo)軌，安裝時一定要使用側(cè)向固定螺絲或其他固定夾具，使直線導(dǎo)軌的安裝基準(zhǔn)面與導(dǎo)軌支架（床身）側(cè)向定位基準(zhǔn)緊密貼合，即側(cè)向壓緊。

如圖4所示，將壓塊按照位置安裝，壓緊螺釘按規(guī)定扭矩擰緊?；苿舆^程中，要求不得與定位臺階或定位銷釘接觸。

圖4 直線導(dǎo)軌的側(cè)向定位安裝

在滑軌側(cè)向定位的同時，安裝滑軌固定螺釘。使用扭力扳手，由中央向兩側(cè)（如圖5所示，依此類推）將滑軌的固定螺釘按照所需擰緊力矩的50%擰緊，使滑軌與垂直安裝基準(zhǔn)面貼合，然后將滑軌的固定螺釘慢慢擰緊至擰緊力矩的100%。此時也要求按照由中央向兩側(cè)的順序擰緊，這樣的擰緊順序可以得到較穩(wěn)定的精度。

圖5 滑軌固定螺釘緊固

對于多段拼接的直線導(dǎo)軌的定位螺釘也必須按照從中間向兩端的順序依次擰緊，如圖6所示。

圖6 多段拼接的直線導(dǎo)軌

拼接式主導(dǎo)軌安裝完畢后，要將滑塊在主導(dǎo)軌上從左至右滑動，要求滑動自如，無卡阻現(xiàn)象。

2.3 導(dǎo)軌安裝檢查

（1）直線導(dǎo)軌上要求裝配的螺釘不允許少裝、漏裝，所有的螺釘必須緊固到最終狀態(tài)；

（2）用塞尺檢查側(cè)面和底面的接合面，要求0.02的塞尺不入，視為合格。若檢查不合格，需要調(diào)整時，再按需適當(dāng)調(diào)整螺釘?shù)牧刂?，從而達(dá)到調(diào)整間隙的目的。

3 裝配后檢驗及導(dǎo)軌支架水平調(diào)整

導(dǎo)軌安裝完畢后，利用平尺、水平儀等儀器設(shè)備檢查其在全部行程內(nèi)運(yùn)行是否靈活，有無阻礙現(xiàn)象，摩擦阻力在全行程內(nèi)不應(yīng)有明顯的變化，若此時發(fā)現(xiàn)異常應(yīng)及時找到原因并及時解決，以防后患。調(diào)整檢測方法如圖7所示：

圖7 調(diào)整檢測方法

（1）將平尺沿導(dǎo)軌滑座運(yùn)動方向放置在直線導(dǎo)軌滑座上，水平儀沿導(dǎo)軌全長等距離的在各位置上檢驗，記錄水平儀讀數(shù)，并利用導(dǎo)軌支架下面的調(diào)節(jié)螺絲，調(diào)節(jié)導(dǎo)軌安裝支架，使之導(dǎo)軌工作面平面度誤差范圍在2 m≤0.02 mm；

（2）將平尺沿垂直于兩導(dǎo)軌方向放置于導(dǎo)軌滑座上方，用水平儀在平尺上移動，記錄水平儀的讀數(shù)，并利用導(dǎo)軌支架下面的調(diào)節(jié)螺絲，調(diào)節(jié)導(dǎo)軌安裝支架，使之導(dǎo)軌工作面平面度誤差范圍在2 m≤0.02 mm。

至此，直線導(dǎo)軌安裝所有步驟全部結(jié)束。

3 結(jié)束語

在半導(dǎo)體專用塑封設(shè)備中，直線導(dǎo)軌應(yīng)用廣泛。它的作用是用來支撐和引導(dǎo)運(yùn)動部件，直線導(dǎo)軌安裝質(zhì)量的好壞，直接關(guān)系到與之相連的運(yùn)動部件運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性，而半導(dǎo)體塑封專用設(shè)備是一種自動化非常高的精密設(shè)備，因此保證直線導(dǎo)軌的安裝質(zhì)量，是保證半導(dǎo)體塑封設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性的重要組成部分。本文通過對直線導(dǎo)軌安裝技術(shù)的研究，不僅為設(shè)計師提供了直線導(dǎo)軌安裝結(jié)構(gòu)的設(shè)計思路，而且為安裝人員提出了安裝技術(shù)規(guī)范，從而保證了直線導(dǎo)軌的安裝質(zhì)量，大大提高了安裝人員的工作效率。