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      一種生長異形晶體的技術(shù)
      ——導(dǎo)模法

      2021-09-22 07:51:28王慶國,徐軍
      人工晶體學(xué)報 2021年8期
      關(guān)鍵詞:熱場晶體生長坩堝

      1938年,前蘇聯(lián)科學(xué)家Stepanov首次發(fā)明了異形晶體的生長方法。1967年,美國Tyco實驗室LaBelle發(fā)明了導(dǎo)模法晶體生長技術(shù)(edge-defined film-fed growth, EFG),該技術(shù)利用與熔體可浸潤的模具材料使坩堝內(nèi)的熔體通過模具的毛細孔或毛細縫的虹吸效應(yīng)上升到模具上表面,通過定向籽晶提拉牽引,在模具上表面進行晶體生長,所生長晶體的橫截面形狀取決于模具上表面的正投影形狀。導(dǎo)模法晶體生長示意圖如圖1所示。

      圖1 導(dǎo)模法晶體生長示意圖

      與其他熔體生長方法如提拉法、坩堝下降法、溫梯法、熱交換法和區(qū)熔法等相比,導(dǎo)模法可生長形狀復(fù)雜和接近最終產(chǎn)品形狀與尺寸的異形晶體,是不可替代的晶體生長方法,已被應(yīng)用于金屬、合金、硅、鍺、藍寶石和氧化鎵等單晶的生長,其新應(yīng)用被不斷開拓,典型如微孔藍寶石晶體,作為光波導(dǎo)介質(zhì)將激光傳輸?shù)侥[瘤表面,作為太赫茲光子晶體波導(dǎo)為太赫茲波的傳輸提供了一種有效的解決方案等。

      本期封面展示了用導(dǎo)模法生長的藍寶石單晶異形制品,如圖2所示,包括多片、大板材、微管及其列陣、大口徑管、單頭封管、纖維和紅寶石等,由同濟大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院徐軍教授團隊提供。十余年來,該團隊針對不同晶體需求,先后建立了如下裝置和工藝平臺:(1)感應(yīng)加熱、銥坩堝發(fā)熱體、氧化鋯熱場;(2)感應(yīng)加熱、銥桶發(fā)熱體、銥坩堝、氧化鋯熱場;(3)感應(yīng)加熱、鎢/鉬坩堝、氧化鋯+石墨碳氈混合熱場;(4)感應(yīng)加熱、鎢桶發(fā)熱體、鎢/鉬坩堝、氧化鋯+石墨碳氈混合熱場;(5)電阻加熱、石墨發(fā)熱體、鎢/鉬坩堝、石墨碳氈熱場;(6)電阻加熱、石墨發(fā)熱體、鎢/鉬坩堝、雙溫區(qū)石墨碳氈熱場等。并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了藍寶石系列晶體:同步12~23片108 mm/80 mm寬片、350 mm×700 mm×12 mm大板條、內(nèi)徑0.16 mm微管及其陣列、內(nèi)/外徑分別為31 mm/58 mm和50 mm/65 mm圓管、單段封口熱偶管、單晶光纖、紅寶石等,部分已進入市場,獲得產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

      圖2 導(dǎo)模法生長的異形藍寶石單晶制品

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