關(guān)苗GUAN Miao
(西安工業(yè)大學機電工程學院,西安 710021)
隨著微電子技術(shù)和微納米技術(shù)的快速發(fā)展,微機電系統(tǒng)(MEMS)、微裝配和生物醫(yī)學等領(lǐng)域成為了國內(nèi)外研究的熱點[1]。微夾鉗(Microgripper)作為微裝配系統(tǒng)的末端執(zhí)行器,直接連接操作機構(gòu)與微型零件,對微型零件的制造及裝配起著決定性作用[2]。
微夾鉗的主要功能是實現(xiàn)對微小零件和微型構(gòu)件的抓取或夾持,對于需要操作的微小器件,其尺寸在微米、毫米級不等,用于微夾鉗驅(qū)動器的位移分辨率高但驅(qū)動位移小,因此往往將驅(qū)動器輸出的微小位移采用柔順機構(gòu)放大再傳遞給鉗口[3]。相比傳統(tǒng)的機械放大機構(gòu),雙穩(wěn)態(tài)及多穩(wěn)態(tài)柔順機構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制作、精度高、運動過程中摩擦磨損小等優(yōu)點[4]。因此,本文基于多穩(wěn)態(tài)柔性機構(gòu)設(shè)計微夾鉗。
對于擴大微夾鉗的夾持行程,國內(nèi)外學者進行了大量的研究,目前主要是通過柔順位移放大機構(gòu)實現(xiàn)。常用的微位移放大機構(gòu)主要有杠桿放大機構(gòu)、橋式放大機構(gòu)、斯科特放大機構(gòu)。李佳杰[5]等設(shè)計了一種新型二級差動式杠桿微位移放大機構(gòu),經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計后機構(gòu)的位移放大倍數(shù)為48,但有限元仿真模型與理論模型的誤差為8%;Zhao[6]等設(shè)計了一種壓電驅(qū)動的三級放大式微夾持器,放大倍數(shù)為16.8 倍,輸出行程僅為102.3μm;丁嚴[7]等設(shè)計了一種兩級放大的新型柔性微夾鉗結(jié)構(gòu),位移放大比為30.89,單個夾爪的行程僅為334.01μm;陳曉東[8]等設(shè)計了一種大行程兩級位移放大柔性壓電微夾鉗,無夾持物時,單邊輸出位移為237.82μm,實際放大倍數(shù)為23.782 倍。但是,以上的微夾鉗不能同時夾持微米和毫米級別的物體。因此,研究出具有通用性好、適合跨尺度微操作等特性的微夾鉗十分必要。
圖1 為微夾鉗結(jié)構(gòu)圖,整體尺寸為6.04mm×4.58mm×0.1mm。微夾鉗由壓電作動器、位移放大機構(gòu)、柔順多穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)、鉗口和基座組成,左側(cè)為放大機構(gòu),包含杠桿機構(gòu)和平行四邊形機構(gòu)。右側(cè)為柔順多穩(wěn)態(tài)機構(gòu),包含三個雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)。鉗臂通過平行四邊形機構(gòu)直接連接到固定基座上,隔絕寄生偏轉(zhuǎn)運動,保證微夾鉗末端輸出為純平行運動。
圖1 微夾鉗結(jié)構(gòu)圖
該微夾鉗的工作原理為:微夾鉗鉗口為常開狀態(tài),輸入端采用疊堆型壓電陶瓷(PZT)作為作動器。通過壓電作動器的伸縮運動實現(xiàn)夾持和釋放動作。對壓電作動器施加電壓時,在微夾鉗輸入端會產(chǎn)生驅(qū)動位移,PZT 的一端固定,另一端與杠桿機構(gòu)相連,壓電作動器的輸入位移先通過杠桿機構(gòu)實現(xiàn)第一級放大,再將其傳遞給平行四邊形機構(gòu)保證鉗口平動及第二級放大,右側(cè)使用三個柔性雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)串聯(lián)實現(xiàn)八穩(wěn)態(tài),最后將位移傳遞至平行四邊形機構(gòu)實現(xiàn)鉗口平動及放大。
放大機構(gòu)的簡化示意圖如圖3 所示。在點A 處輸入壓電作動器產(chǎn)生的驅(qū)動位移Pin,經(jīng)杠桿放大機構(gòu)實現(xiàn)第一級放大,再通過平行四邊形機構(gòu)的傳遞實現(xiàn)第二級放大并保證微夾鉗末端為純平行移動,最終在F 點處得到整個放大機構(gòu)的輸出位移Xout。l1為杠桿放大機構(gòu)輸入端到固定端B 的距離,l2為第一級杠桿機構(gòu)的輸出端C 到固定端B 的距離,l3和l4分別為第二級杠桿的輸入端D 和輸出端F 到固定端E 的距離,第一級杠桿和第二級平行四邊形機構(gòu)分別以柔性鉸鏈H1和H3的中心軸為轉(zhuǎn)動軸進行轉(zhuǎn)動。上述各參數(shù)設(shè)定為:l1=394.5μm,l2=789μm,l3=710μm,l4=1339μm。
圖2 杠桿結(jié)構(gòu)圖
圖3 杠桿結(jié)構(gòu)簡化示意圖
該放大機構(gòu)的運動過程中,在力的作用下,柔性鉸鏈會同時產(chǎn)生拉伸、壓縮以及轉(zhuǎn)角變形,從而導致柔性鉸鏈的旋轉(zhuǎn)中心發(fā)生漂移,使得杠桿放大機構(gòu)以及整個微夾鉗的放大系數(shù)發(fā)生改變。因此在進行杠桿放大機構(gòu)理論的研究中,需要考慮柔性鉸鏈旋轉(zhuǎn)中心漂移對放大系數(shù)的影響。設(shè)作用在柔性鉸鏈Hi處的軸向力為Fi,力矩為Mi,柔性鉸鏈Hi繞其中心軸的轉(zhuǎn)動角為θi,軸向變形量為Δi,杠桿放大機構(gòu)中第一級杠桿ABC 的轉(zhuǎn)角為φ1,第一級杠桿ABC 和第二級杠桿DEF 間的過度桿CE 的轉(zhuǎn)角為φ2,第二級杠桿DEF 的轉(zhuǎn)角為φ3。
杠桿機構(gòu)的輸入位移即為壓電作動器的輸出位移Pin,即:
BC 桿的受力示意圖如圖4所示,可得:
圖4 BC 桿的受力示意圖
鉸鏈B 受軸向力作用會產(chǎn)生壓縮,壓縮位移為ΔB,因此在通過柔性鉸鏈B 后的有效輸出位移為:
綜上可得第一級杠桿輸出位移為:
一、二級杠桿中間的桿CE 受力示意圖如圖5 所示,根據(jù)其變形情況可得:
圖5 桿CE 受力示意圖
鉸鏈H2受軸向力作用產(chǎn)生壓縮,壓縮位移為ΔC,因此在通過柔性鉸鏈H2后第一級杠桿的有效輸出位移為:
平行四邊形機構(gòu)的受力示意圖如圖6 所示,根據(jù)其受力分析可得:
圖6 桿DEF 受力示意圖
平行四邊形機構(gòu)的輸入端為點E,鉸鏈H3受軸向力會產(chǎn)生壓縮,壓縮量為Δ3;同時鉸鏈H3繞旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動角為φ3,則有:
綜上整個放大機構(gòu)的有效輸出位移為:
整個放大機構(gòu)的放大倍數(shù)為:
代入具體數(shù)據(jù),K=4.52。
根據(jù)上述推導的放大機構(gòu)的放大倍數(shù),接下來使用有限元分析對這些公式進行驗證。根據(jù)圖2 所示的幾何模型建立有限元仿真模型,分析該放大機構(gòu)的運動范圍和應力情況。在放大機構(gòu)輸入端施加120μm 的位移,結(jié)果如圖7所示,最大輸出位移為499.78μm。
圖7 放大機構(gòu)位移圖
通過有限元仿真得出左側(cè)放大機構(gòu)的放大倍數(shù)為4.16,而理論模型計算得出放大倍率為4.52,與有限元仿真結(jié)果相比誤差為8.6%。
為了深入了解不同參數(shù)對雙穩(wěn)態(tài)穩(wěn)定特性的影響,并選擇最適合控制多穩(wěn)態(tài)性能的設(shè)計參數(shù),首先分析單個柔順雙穩(wěn)態(tài)模型,如圖8 所示。該雙穩(wěn)態(tài)初始狀態(tài)為彎曲狀態(tài)、長度為L、矩形截面面積為A=b×d 和二階矩Iyy=bd3/12。雙穩(wěn)態(tài)的初始狀態(tài)可以用函數(shù)Z0(x)=hψ(x)來表示,其中h 是雙穩(wěn)態(tài)的中心點到初始位置的高度,ψ(x)是一個無量綱的函數(shù)。
圖8 單個柔順雙穩(wěn)態(tài)模型
經(jīng)分析,得到:
雙穩(wěn)態(tài)初始加工狀態(tài)為彎曲形狀,因此梁在其初始彎曲狀態(tài)是無應力的。假設(shè)梁是由楊氏模量為E 的各向均勻線彈性材料制成,將兩端固定,在z 方向上由作用于梁中點的集中力F 驅(qū)動,如圖8 所示。
首先采用歐拉伯努利理論建立梁的理論模型,便于對雙穩(wěn)態(tài)的初步設(shè)計參數(shù)進行調(diào)整。此外,該模型的理論結(jié)果將用于與有限元結(jié)果的比較。假設(shè)d< 其中w(x)為橫向位移;u(x)是軸向位移,δ(x)是狄拉克函數(shù)。式(19)由梁兩端固定的邊界條件推導得到。兩個相同的梁通過剛性連接組成雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu),因此它是對稱的,在梁的中點處有邊界條件w′=0,EIyyW′′′=F/2。對式(20)的方程組進行了數(shù)值求解,該解基于配點法[9],利用集成到Matlab 包中的兩點邊值問題求解器bvp4c[10]得到。方程組(20)寫成六個一階微分方程的形式: 根據(jù)上述理論可得出雙穩(wěn)態(tài)跳轉(zhuǎn)位移即上式中的橫向位移w(x)與結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的關(guān)系,由此設(shè)計了雙穩(wěn)態(tài)的結(jié)構(gòu),參數(shù)如表1 所示,圖9 顯示了參數(shù)化設(shè)計的重要變量,其中L 表示剛性桿長、W 表示剛性桿寬度,β 表示桿的角度,T 表示厚度,SW、SL 分別表示梭子的寬度和長度,Y 表示驅(qū)動梭的位移,材料選擇為鋁合金,其楊氏模量(EX)為71GPa、泊松比(PR)是0.33。雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)依靠柔順桿的偏轉(zhuǎn)移動到它的交替穩(wěn)定位置。 表1 三段式柔順雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)設(shè)計參數(shù)值 圖9 雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖 該雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)具有兩個明顯的穩(wěn)定平衡位置,圖10是用非線性有限元分析得到的柔順雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)力-位移關(guān)系曲線。力-位移特性曲線上的A 點和C 點分別為兩個穩(wěn)態(tài)位置(A 點代表初始位置),B 點是非穩(wěn)態(tài)位置。Fmax是該雙穩(wěn)態(tài)從第一個穩(wěn)態(tài)位置跳轉(zhuǎn)到第二個穩(wěn)態(tài)位置所施加的力,而Fmin是其從第二個穩(wěn)態(tài)位置跳轉(zhuǎn)到第一個穩(wěn)態(tài)位置所施加的力。A 點和C 點之間是雙穩(wěn)態(tài)特性段,在此區(qū)間內(nèi)柔順雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)由初始位置A 經(jīng)非穩(wěn)態(tài)位置B 點跳轉(zhuǎn)至第二穩(wěn)態(tài)位置C 點。 圖10 柔順雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)力-位移曲線 將多個柔順雙穩(wěn)態(tài)機構(gòu)串聯(lián)以實現(xiàn)多穩(wěn)態(tài)功能,每個雙穩(wěn)態(tài)連接一個剛性框架,如圖11 所示。將雙穩(wěn)態(tài)由左至右分別命名為雙穩(wěn)態(tài)1、雙穩(wěn)態(tài)2 和雙穩(wěn)態(tài)3。其中每個雙穩(wěn)態(tài)所需的跳轉(zhuǎn)力應不同,因此在施加的力不斷增加的情況下會發(fā)生一系列的穩(wěn)態(tài)突變,如圖12 所示。 圖11 多穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu) 圖12 多穩(wěn)態(tài)突變曲線 下面通過有限元仿真來驗證上述多穩(wěn)態(tài)理論模型。由于這三個雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)相似,所以只仿真其中的一個雙穩(wěn)態(tài)3。本文選用鋁合金材料(其屈服強度與楊氏模量的比值較高,對柔順機構(gòu)而言,在材料性能允許的情況下,可獲得更大的工作空間),其彈性模量E=71GPa,泊松比PR=0.33,切屈服強度σ=275MPa,密度ρ=2770kg/m3。 有限元仿真結(jié)果如圖13、圖14 所示。由圖可看出雙穩(wěn)態(tài)3 的跨度為115.8um,應力為47.7MPa,未超出材料的最大許用應力275MPa。 圖13 雙穩(wěn)態(tài)位移圖 圖14 雙穩(wěn)態(tài)應力圖 由圖15、圖16 可看出雙穩(wěn)態(tài)位移和應力都有突變,可知雙穩(wěn)態(tài)3 確實實現(xiàn)了跳轉(zhuǎn)。所有雙穩(wěn)態(tài)的仿真數(shù)據(jù)如表2 所示。 圖15 雙穩(wěn)態(tài)位移曲線 圖16 雙穩(wěn)態(tài)應力曲線 表2 雙穩(wěn)態(tài)仿真數(shù)據(jù) 接下來將雙穩(wěn)態(tài)1 和2 串聯(lián)進行仿真,結(jié)果如圖17所示,位移約等于兩個雙穩(wěn)態(tài)單獨位移之和。 圖17 兩個雙穩(wěn)態(tài)串聯(lián)位移圖 將雙穩(wěn)態(tài)3 和平行四邊形串聯(lián)進行仿真,結(jié)果如圖18 所示,經(jīng)過平行四邊形后,位移放大了2 倍左右,與理論值基本吻合。 圖18 雙穩(wěn)態(tài)和平行四邊形機構(gòu)串聯(lián)位移圖 最終多個雙穩(wěn)態(tài)加平行四邊形結(jié)構(gòu)的總位移為1025.91um,可實現(xiàn)微米到毫米跨尺度的要求。最大應力為200.91MPa,小于鋁合金的最大許用應力275MPa,所以,設(shè)計的多穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)滿足微夾鉗要求。 本文設(shè)計了一種基于多穩(wěn)態(tài)柔順機構(gòu)跨尺度微夾鉗,該機構(gòu)具有結(jié)構(gòu)緊湊、位移范圍大、平動夾持的優(yōu)點,可實現(xiàn)微米到毫米級別跨尺度微操作。運用靜力學模型,對微夾鉗的結(jié)構(gòu)進行了理論分析與設(shè)計,并利用有限元仿真分析軟件驗證了微夾鉗的性能。與同類微夾鉗相比,該微夾鉗具有良好的實用價值。3.2 多穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)設(shè)計
3.3 多穩(wěn)態(tài)仿真分析
4 結(jié)論