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      我國首顆15.24 cm氧化鎵單晶成功制備

      2023-05-30 03:23:51
      有色金屬材料與工程 2023年2期
      關(guān)鍵詞:熱場(chǎng)電科禁帶

      日前,中國電科46所成功制備出我國首顆15.24 cm氧化鎵單晶,達(dá)到國際最高水平。氧化鎵是新型超寬禁帶半導(dǎo)體材料,擁有優(yōu)異的物理化學(xué)特性,在微電子與光電子領(lǐng)域均擁有廣闊的應(yīng)用前景。但因具有高熔點(diǎn)、高溫分解以及易開裂等特性,因此,大尺寸氧化鎵單晶制備極為困難。

      據(jù)了解,中國電科46所氧化鎵團(tuán)隊(duì)聚焦多晶面、大尺寸、高摻雜、低缺陷等方向,從大尺寸氧化鎵熱場(chǎng)設(shè)計(jì)出發(fā),成功構(gòu)建了適用于15.24 cm氧化鎵單晶生長的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),突破了15.24 cm氧化鎵單晶生長技術(shù),具有良好的結(jié)晶性能,可用于15.24 cm氧化鎵單晶襯底片的研制,將有力支撐我國氧化鎵材料實(shí)用化進(jìn)程和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

      近年來,中國電科圍繞國家戰(zhàn)略需求,在氧化鎵、氮化鋁、金剛石等超寬禁帶半導(dǎo)體材料領(lǐng)域砥礪深耕并取得重大突破和標(biāo)志性成果,有力支撐了我國超寬禁帶半導(dǎo)體材料的發(fā)展。

      摘自《光明日?qǐng)?bào)》

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