劉電波

摘要：在液晶面板及半導體等制造、加工過程中需要持續(xù)監(jiān)控搬送距離的可優(yōu)化性，減少搬送距離，節(jié)省動力用力;持續(xù)監(jiān)控動態(tài)搬送路徑，及時發(fā)現(xiàn)路徑設置的不合理之處，優(yōu)化搬送路徑，提高搬送效率;應對工廠對產(chǎn)品在STK內(nèi)暫存時間履歷調(diào)查的需求。本文介紹了計算產(chǎn)品在工序間搬送距離的一種方法，為工廠提供批次產(chǎn)品搬送數(shù)據(jù)，方便優(yōu)化搬送路徑，節(jié)省用力。

關鍵詞：OIC;液晶面板;半導體;晶圓

中圖分類號：TP39 ? ? ? ? ?文獻標識碼：A

在液晶面板及半導體等制造、加工過程中，因為從素玻璃或硅片投入到液晶面板或晶圓的做成，這中間需要許多制程的支持，每一道制程有多臺設備分布在不同位置且可能跨區(qū)塊需要搬送系統(tǒng)連接，每個工廠規(guī)劃搬送路徑不可能唯一。持續(xù)搬送距離的監(jiān)控可優(yōu)化減少搬送距離，節(jié)省動力用力。持續(xù)進行動態(tài)搬送路徑監(jiān)控可及時發(fā)現(xiàn)路徑設置的不合理之處，優(yōu)化搬送路徑，提高搬送效率。為了厘清問題根源，工程同時經(jīng)常會調(diào)查產(chǎn)品在STK儲位內(nèi)一段時間內(nèi)的履歷，此技術也提供了快速應對方案[1]。

1 本方法提出的背景及提出前統(tǒng)計方法

隨著工廠的持續(xù)運營會面臨減能源增效率的問題。目前，搬送距離是由人力統(tǒng)計、計算，目前的情況是4～6人需要耗時1～2天才能完成一批數(shù)據(jù)，動態(tài)路徑監(jiān)控只能通過人力根據(jù)搬送路徑一步步計算確認，如要持續(xù)進行計算會額外增加人力及工時，且人為介入數(shù)據(jù)會存在很大不確定性。

2 本方法的實現(xiàn)方式

為了解決這個問題，我們在不增加成本的情況下對軟件進行新功能開發(fā)，讓電腦去完成這些計算，不需新增相關人力，軟件新功能內(nèi)部開發(fā)基本不需成本（圖1）。

（1）統(tǒng)計廠區(qū)所有設備，制作Excel版本LAYOUT并統(tǒng)計各單元（含STK、EQ、OHCV、LIFTER等）間的距離。

（2）打開Excel軟件開啟VBA編程功能。按要求收集OIC系統(tǒng)的搬送大命令數(shù)據(jù)，將收集的數(shù)據(jù)通過VBA編程分析篩選出有用數(shù)據(jù)。

（3）打開的Excel軟件根據(jù)要求收集MCS小命令搬送路徑，并通過VBA編程篩選出實際搬送站點。

（4）通過Excel軟件的VBA編程功能，根據(jù)站點計算出搬送路徑距離同時生成每步動態(tài)搬送路徑。這樣大大地節(jié)省了人力及工作量。

（5）VBA自動生成產(chǎn)品生產(chǎn)過程搬送距離。

3 ? 本方法的創(chuàng)新點

以前實現(xiàn)功能是手動確認方式，效率低下，費時費力;每次根據(jù)OIC搬送路徑計算搬送站點和距離通過7步，特別第6步需重復多次，每步站點都是人力篩選+計算。本方法使用綜合自動數(shù)據(jù)篩選法，無論是以Source端還是Destination端為主，每次根據(jù)OIC路徑計算搬送站點和距離不需人為每步計算，通過整合OIC和MCS系統(tǒng)編寫VBA控制程序可自動實現(xiàn)首末EQ篩選、每步路徑篩選、卡匣篩選、時間篩選、距離計算等，一鍵完成[2-3]（圖2）。

目前MCS與MES分屬不同系統(tǒng)，雙方搬送命令記錄到的數(shù)據(jù)時間點可能會有延時，本系統(tǒng)全程用VBA程序篩選計算不允許有誤差，故如果遇到跨小時、日、天時就會導致雙方時間不匹配，影響查詢，導致匹配時會漏掉數(shù)據(jù)。針對此現(xiàn)象本方法創(chuàng)新性在VBA編程時使用多路可能路徑查找的方法（圖3）。

以前只能通過MCS layout界面實時監(jiān)控當前卡匣搬送路徑，處于調(diào)查的需要要回溯前期的卡匣路徑（含制程調(diào)查基板在STK內(nèi)存儲位置），只能看Excel里搬送履歷。一條MES下達的命令由許多MCS小命令組成，路徑也有多種可能，很不直觀。非本專業(yè)人員看不懂。新路徑回溯實現(xiàn)方法如下。

制作LAYOUT圖，將搬送路徑表現(xiàn)在LAYOUT上，制作上下命令翻動按鈕，直觀可以看到每步驟搬送路徑。

4 ? 預期效果

本方法可以一鍵實現(xiàn)搬送距離計算和動態(tài)搬送履歷的回溯，相比較目前路徑計算方式節(jié)省大量人力、工時，又因全部是軟件系統(tǒng)計算數(shù)據(jù)消除不同人為計算的誤差，準確率大為提高。直接將搬送距離的統(tǒng)計計算工作由人工交給軟件來執(zhí)行，大大提高了計算的效率，降低不同員工間統(tǒng)計數(shù)據(jù)誤差，使經(jīng)常性搬送路徑計算成為可能，為用力COST DOWN提供依據(jù)，為優(yōu)化搬送邏輯提供依據(jù)[4-6]。

5 ? 結語

當然，實現(xiàn)本方案功能的方法不止一種，相信本方案也不是最優(yōu)的，只要能節(jié)省勞動力，能提高工作效率的方法都是可取的。隨著工廠的持續(xù)運營會面臨著減能源增效率的問題，工廠為了可持續(xù)健康發(fā)展會對技術和效率方面提出越來越高的要求。

參考文獻

[1] 謝鶴鵬.液晶面板制造企業(yè)供應商分類與選擇研究[D].哈爾濱：東北農(nóng)業(yè)大學，2018.

[2] 劉鐵磊，劉志昂，高志剛，等.液晶顯示面板質(zhì)量改善試驗方法探討（一）[J].電子世界，2019，41（14）：28-29，32.

[3] 竇義坤，方芳，江昌俊.液晶面板生產(chǎn)設備的故障診斷研究[J].設備管理與維修，2019，40（10）：185-187.

[4] 李曉超.液晶面板檢測設備的控制系統(tǒng)設計[J].科技經(jīng)濟導刊，2018，4（16）：11，46.

[5] 藍色.液晶面板，你所不知道的另一面[J].個人電腦，2014，21（12）：100-102.

[6] 陳蔚，張雯旭，馮舉，等.具有管控液晶面板設備工藝參數(shù)的制造執(zhí)行系統(tǒng)的技術研究[J].液晶與顯示，2016，31（12）：1118-1123.