劉亞軍 左鍵

摘要：金屬鈦是一種具有單位體積重量輕、密度小、強度高等優(yōu)點，在國防軍工航空航天等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。金屬鈦的力學(xué)性能與其結(jié)晶性能有重要聯(lián)系，因此需要從實驗和模擬兩方面對鈦的結(jié)晶行為進行研究。本文首先采用磁控濺射方法在氧化鎂基底上沉積金屬鈦薄膜，并采用X射線衍射手段對薄膜的結(jié)晶取向進行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)鈦薄膜的結(jié)晶取向為[100]。隨后，采用第一性原理模擬方法對兩個鈦原子之間的相互作用關(guān)系進行了模擬，計算結(jié)果表明當(dāng)鈦原子之間距離為1.9 ?時，兩個鈦原子相互作用達到平衡距離。

關(guān)鍵詞：鈦薄膜;X射線衍射;計算機模擬;相互作用

1、引言：

金屬鈦是一種過度元素，具有較強的抗腐蝕能力、較強的抗高溫能力、較高的機械強度，密度較低，不與水反應(yīng)，顏色為銀白色。作為比強度最高的金屬，鈦運用于航空航天、汽車、手機、輪船等多種領(lǐng)域[1]。利用其低密度的特性制造出來的汽車不但能夠減輕汽車本身的重量，而且還能減小運動時慣性帶來的影響[2]。金屬鈦在醫(yī)學(xué)也有著廣泛的用途[3]，由于金屬鈦的彈性模量與人身體骨骼的彈性模量比較相近，而且與人體具有很高的生物相容性，故而能夠在骨折的時候作為接骨板，能夠用作修補牙齒時的基底，使修復(fù)假牙的裝置安裝在其上，進而修復(fù)牙齒。金屬鈦的性能研究與結(jié)晶取向有關(guān)，因此需要系統(tǒng)研究結(jié)晶取向。

因為鈦薄膜表面具有不同的形貌以及透光性，所以大量的研究者對鈦的結(jié)構(gòu)以及性能進行了大量的研究。例如朱秀榕[4]等先通過激光微加工技術(shù)獲得能夠透過光線的掩模板，然后再通過掩模板，利用直流磁控濺射技術(shù)通過不同的磁射電流制備出了不同的鈦薄膜光柵。然后用紫外光光度計對不同的鈦薄膜光柵進行了光學(xué)性能和電學(xué)性能進行了測量。實驗結(jié)果表明通過不斷的加大濺射電流，導(dǎo)致堆積到樣品上的鈦薄膜越來越厚，而且通過肉眼觀察可見，隨著電流增加所呈現(xiàn)的樣品顏色先由淺色變?yōu)樯钌詈箢伾溟_始變淡。張東平[5]等濺射沉積工藝制備了鈦薄膜，通過研究發(fā)射不同的入射電子能量進而研究所形成的鈦薄膜表面的不同的相貌。結(jié)果表明，隨著激射電壓的升高金屬鈦表面的變化就越緩慢。通過相關(guān)的文獻調(diào)研發(fā)現(xiàn)雖然目前有關(guān)金屬鈦的研究有很多，但是與金屬鈦結(jié)晶行為相關(guān)的研究還明顯不足，因此本文通過實驗加模擬的方法對金屬鈦結(jié)晶行為進行了研究。

2、實驗和模擬參數(shù)

實驗方面，首先采用磁控濺射方法，在氧化鎂（100）基面上鍍金屬鈦薄膜。實驗過程主要參數(shù)中，沉積溫度設(shè)置為250攝氏度，沉積速率2mg/S，真空度10-5GPa，鍍膜時間三十分鐘。首先對真空室進行抽真空，隨后將靶材和氧化鎂基底放入鍍膜腔，鍍膜結(jié)束后取出樣品進行X射線衍射分析。

模擬方面，建立10×10×10 ?的立方盒子，在盒子中間位置放置兩個鈦原子，原子之間距離長度為R，計算體系能量隨距離變化關(guān)系。計算采用SISTA軟件，基于密度泛函理論（DFT）的第一性原理方法，電子交換-關(guān)聯(lián)能采用廣義梯度近似（GGA），布里淵區(qū)中K點設(shè)置為4×4×1，截斷能E-cut設(shè)置為300.00 eV。本文通過改變兩個鈦原子之間的距離，通過計算機模擬的方法來測量它們之間的能量，本文一共經(jīng)過19次模擬實驗對鈦原子之間不同的距離進行實驗，其中計算過程為打開SISTA軟件，點擊創(chuàng)建一個自己的文件夾，點擊Build，找到crystals進入點擊Rebuild，點擊Add Atoms，修改b為0.6，點擊Add，然后再將b修改為0.5點擊Add。一共添加兩個球，然后將元素為選擇為Ti。右鍵選擇Display style.在彈出的界面選擇Ball and stick。然后點擊Measure點擊兩個球顯示距離，然后開始計算，彈出界面點擊Run等待結(jié)果，在結(jié)果中找到energy記錄數(shù)值。使用相同的方法記錄1.00、1.20、1.30、1.40、1.50、1.55、1.60、1.65、1.70、1.75、1.80、1.85、1.90、2.00、2.10、2.20、2.30、2.40、2.50，共19組數(shù)據(jù)。

3、結(jié)果與討論

3.1 鈦薄膜結(jié)晶取向?qū)嶒灲Y(jié)果

X射線衍射是通過X射線對所需要鑒定的材料進行衍射實驗的一門技術(shù)，可以在進行衍射試驗后的到相應(yīng)的衍射圖譜，而我們能夠?qū)Φ玫降膱D譜進行分析，進而得到研究樣品的分子、原子的形態(tài)和結(jié)構(gòu)以及樣品的成分等信息。樣品制備成功后，對樣品進行X射線衍射分析，得到了如圖1所示的衍射圖譜，其中橫坐標為衍射角2?，縱坐標為強度。實驗發(fā)現(xiàn)在38.5度有一個高度為一萬的峰，采用Jade軟件對峰進行物相匹配，得到該峰對應(yīng)材料為Ti（001），即金屬鈦的結(jié)晶取向方向為（001）方向。另外再42.9度有一個高度超過十四萬的峰，對應(yīng)為基底（substrate）峰，為MgO（100）峰。

3.2 鈦原子相互作用模擬結(jié)果

采用第一性原理對兩個鈦原子相互作用進行模擬，得到如圖2所示結(jié)果。圖2中橫坐標為原子間的距離，縱坐標為體系能量，圖中正方體為原子距離模擬圖。由圖可知，隨著兩個鈦原子相互距離逐漸減小，體系能量降低。當(dāng)兩個鈦原子之間的距離為1.9 ?，體系能量達到最低。繼續(xù)增加距離，體系能量游少許增加，故兩個鈦原子之間相互作用，最佳距離是1.90 ?。

4、小結(jié)

本實驗通過實驗加模擬的方法對關(guān)于金屬鈦結(jié)晶取向進行了研究，首先在氧化鎂基面上鍍金屬鈦薄膜，然后進行X射線衍射實驗，結(jié)果表明金屬鈦的金屬鈦的結(jié)晶取向方向為（001），然后本文通過計算機模擬進行鈦原子之間相互作用力的模擬實驗，結(jié)果表明當(dāng)Ti-Ti間的距離為1.9?時體系間能量最低結(jié)構(gòu)最穩(wěn)定，因此Ti-Ti相互作用的最佳距離為1.90?。

參考文獻：

[1]王懷柳.鈦及鈦合金在船舶工業(yè)的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展[J].特鋼技術(shù)，2013，19（04）：1-5.

[2]楊遇春.鈦在汽車工業(yè)中的應(yīng)用及降低鈦材成本的工藝[J].中國工程科學(xué)，2005（08）：9-17.

[3]汪大林，徐君伍，于家斗.鈦在口腔修復(fù)醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用[J].稀有金屬材料與工程，1993（03）：61-67.

[4]朱秀榕，董煜，李曉芬.濺射電流對鈦薄膜光電性能的影響[J].贛南師范大學(xué)學(xué)報，2021，42（06）：30-34.

[5]齊紅基，張東平，易葵，邵建達，范正修.濺射過程中粒子能量對鈦薄膜表面形貌影響[J].光學(xué)學(xué)報，2004（11）：1450-1454.