高國平，黃登華

（中國電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所，江蘇 無錫 214072）

深亞微米SOI工藝的輸出結(jié)構(gòu)ESD研究

高國平，黃登華

（中國電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所，江蘇 無錫 214072）

SOI（Silicon-On-Insulator）是一種在未來很有競爭優(yōu)勢的工藝技術(shù)，但由于其與體硅工藝結(jié)構(gòu)上的不同，給其ESD設(shè)計帶來了額外的挑戰(zhàn)。通過串聯(lián)的NMOS管來提高輸出管的觸發(fā)電壓，以提升輸出緩沖器的ESD能力。

SOI；ESD；輸出緩沖器

1 引言

SOI（Silicon-On-Insulator）是一種在未來很有競爭優(yōu)勢的工藝技術(shù)，具有消除了Latch-Up、減小了寄生結(jié)電容等優(yōu)點，但由于其與體硅工藝結(jié)構(gòu)上的不同，給其ESD設(shè)計帶來了額外的挑戰(zhàn)。本文主要關(guān)注深亞微米部分耗盡型SOI工藝中輸出緩沖器（Output Buffer）的ESD能力提高問題。

SOI（Silicon-On-Insulator）技術(shù)指的是在絕緣層上形成具有一定厚度的單晶半導(dǎo)體硅薄膜層的材料制備技術(shù)及在薄膜層上制造半導(dǎo)體器件的工藝技術(shù)。該技術(shù)可以實現(xiàn)完全的介質(zhì)隔離，與用P-N結(jié)隔離的體硅器件相比，具有無閂鎖、高速度、低功耗、集成度高、耐高溫、耐輻射等優(yōu)點[1]。根據(jù)SOI硅膜厚度可以將SOI器件分為厚膜器件和薄膜器件。對于厚膜SOI器件而言，當(dāng)SOI硅膜厚度大于兩倍的最大耗盡寬度時，被稱為部分耗盡器件；對于薄膜SOI器件，當(dāng)硅膜的厚度小于最大耗盡寬度時，稱為全耗盡器件。

在SOI技術(shù)中，器件被制作在頂層很薄的硅膜中，器件與襯底之間由一層埋氧化層隔開。正是這種結(jié)構(gòu)使得SOI/MOS器件具有功耗低等眾多優(yōu)點，比傳統(tǒng)的體硅MOS工藝相比，更適合于高性能的ULSI和VLSI電路。

2 NMOS器件的ESD能力

從ESD保護(hù)分析，由于SOI工藝MOS器件在埋氧化層上方形成，與體硅相比，減小了器件的散熱體積，所以器件的ESD保護(hù)能力大大減弱，尤其是輸出NMOS。

目前國際上對SOI工藝電路的ESD保護(hù)多采用兩種方式：（1）利用柵控二極管進(jìn)行ESD保護(hù)，主要使用柵控二極管的正向?qū)ㄌ匦?；?）采用動態(tài)開啟的MOS管，主要使用MOS管和寄生柵控二極管同時導(dǎo)通。以上兩種方式很難滿足輸入/輸出端口多樣的需求。

圖1 體硅與SOI NMOS器件在正HBM ESD應(yīng)力下的ESD失效電壓比較示意圖

圖2 體硅與SOI NMOS器件在負(fù)HBM ESD應(yīng)力下的ESD失效電壓比較示意圖

圖1 、2是國外文獻(xiàn)[1]關(guān)于SOI NMOS器件與體硅NMOS器件抗ESD水平的對照結(jié)果。在同一硅襯底材料上，利用特殊處理方法制造的兩個尺寸和版圖布局設(shè)計完全相同的SOI NMOS器件和體硅NMOS器件，兩者在HBM正、負(fù)ESD應(yīng)力下失效電壓進(jìn)行對比，SOI器件對ESD的承受能力遠(yuǎn)小于體硅器件，因此SOI電路的ESD能力已成為提高SOI電路可靠性的最大技術(shù)瓶頸之一。

本單位研發(fā)的一種0.18 μm SOI CMOS工藝設(shè)計的GGNMOS ESD結(jié)構(gòu)，見圖3。該工藝的硅膜厚度約為235 nm，接觸孔到柵的距離（DCG）是2 μm。正向HBM模式下的抗ESD能力很差，沒有通過100 V，其原因分析為SOI工藝散熱性不如體硅，導(dǎo)致大量熱量積累在P阱中。試驗結(jié)果見表1。在正向ESD打擊試驗中，GGNMOS的ESD能力并未隨著總器件寬度的增加而增加，因而在體硅工藝中常用于提高ESD能力的方法不能使用在SOI工藝中。

硅膜厚度是SOI工藝設(shè)計的一個關(guān)鍵參數(shù)[1]。在相同的功耗下，隨著硅膜厚度的減小，由于散熱能力的下降，硅的溫度增加。更嚴(yán)重的問題是，薄的硅膜帶來了更大的電阻和更高的電流密度，最終導(dǎo)致越薄的硅膜器件的ESD能力越低。圖4是SOI工藝的硅膜厚度和ESD失效電壓的關(guān)系示意圖。

圖3 GGNMOS的剖面圖和電路圖

表1 GGNMOS ESD應(yīng)力測試結(jié)果

圖4 SOI工藝硅膜厚度和ESD失效電壓的關(guān)系示意圖

3 常規(guī)的輸出結(jié)構(gòu)

常規(guī)的輸出結(jié)構(gòu)見圖5[2]。輸出端口電壓VIO在人體模型ESD打擊時可用式（1）表示：

其中，Vdiode-on是二極管的導(dǎo)通電壓（約1 V），Vclamp-on是電源與地之間的PowerClamp的導(dǎo)通電壓（約0.5V），RESD是ESD路徑上的導(dǎo)通電阻，可表示為：

其中，Rdiode是二極管的導(dǎo)通電阻，Rvdd是二極管和最近的Power Clamp之間的金屬導(dǎo)線的電阻，Rclamp是Power Clamp的導(dǎo)通電阻。Rvdd需要保持盡可能?。ㄐ∮?1 Ω）。

一個ESD結(jié)構(gòu)的健壯性可表示為：

Vcrit表示I/O端口上最脆弱的地方。在輸出結(jié)構(gòu)中，最脆弱的通常是NMOS管的寄生NPN的觸發(fā)電壓Vt1。在圖5中為了提高輸出的健壯性，增加了電阻Rs，限制在NMOS管兩端的電壓。

圖5 常規(guī)的輸出結(jié)構(gòu)圖

4 ESD優(yōu)化后的輸出結(jié)構(gòu)

一款使用深亞微米PD-SOI工藝設(shè)計的電路的輸出采用了圖5的輸出結(jié)構(gòu)，未加電阻RS。在ESD2000V正脈沖打擊時，輸出NMOS管失效，輸出結(jié)構(gòu)版圖和失效EMMI照片見圖6。其中柵控二極管的擊穿電壓在10 V左右，PMOS、NMOS管的源漏擊穿在12 V左右。柵控二極管的面積為1200 μm2。

圖6 常規(guī)輸出結(jié)構(gòu)版圖和失效EMMI照片

通過以上分析，為了進(jìn)一步提高輸出端口的健壯性，可以進(jìn)一步提高Vcrit，即NMOS管寄生NPN的觸發(fā)電壓，采用圖7的方式可把式（3）進(jìn)一步表示為：

圖7 ESD優(yōu)化后的輸出結(jié)構(gòu)圖

經(jīng)過ESD優(yōu)化后的輸出結(jié)構(gòu)，經(jīng)試驗驗證，原本1500 V耐受的ESD能力提高到了3000 V。

表2 ESD優(yōu)化前后的ESD測試結(jié)果

5 總結(jié)

本文介紹了SOI工藝的優(yōu)勢及其帶來的ESD設(shè)計上的挑戰(zhàn)，通過試驗數(shù)據(jù)證實了SOI工藝中NMOS管的脆弱性。通過對常規(guī)輸出結(jié)構(gòu)的分析，利用SOI工藝的特點提出了一種提高輸出端口ESD能力的新方法。經(jīng)驗證，該方法可以達(dá)到提高輸出端口ESD能力的效果，并已成功應(yīng)用于產(chǎn)品的ESD設(shè)計中。

[1]黃如，張國艷，李映雪，張興.SOI CMOS技術(shù)及其應(yīng)用[M].北京：科學(xué)出版社，2005.

[2]Mansun Chan,Selina S Yuen,Zhi-Jian Ma,Kelvin Y Hui,Ping K Ko,Chenming Hu.ESD Reliability and Protection Schemes in SOI CMOS Output Buffers[J].IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,1995,42(10).

[3]S Mitra,R Gauthier,A Salman,C Putnam,S Beebe,R Halbach,C Seguin.I/O Architecture for Improved ESD Protection In Deep Sub-Micron SOI Technologies[C].2006 IEEE International SOI Conference Proceedings.

Improved ESD Characteristics of Output Buffer in Deep Sub-Micron SOI Technology

GAO Guoping,HUANG Denghua
（China Electronics Technology Group Corporation No.58 Research Institute,Wuxi 214072,China）

Silicon-on-insulator(SOI)is a potential high-performance technology due to its inherent structural advantage over bulk Silicon-based technology.However,the structural differences create additional challenges for providing ESD protection in SOI devices.The paper utilizes SOI's structural advantage of series NMOS to improve ESDcharacteristicsofoutputbuffer.

SOI;ESD;outputbuffer

TN406

A

1681-1070（2017）12-0045-03

2017-08-11

高國平（1979—），男，浙江嘉善人，本科，現(xiàn)在中國電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所從事各類接口電路設(shè)計和可靠性研究工作。