段小玲 許晟瑞

摘 ?要：微電子專業(yè)具有綜合性和實(shí)踐性強(qiáng)的特點(diǎn)，加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)教學(xué)改革對(duì)培養(yǎng)學(xué)生專業(yè)實(shí)踐能力和創(chuàng)新能力具有重要意義。針對(duì)微電子專業(yè)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)課——《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)教學(xué)中存在的主要問題，深入分析問題根源，積極探索解決方案。以關(guān)注實(shí)驗(yàn)教學(xué)效果，提高實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量，培養(yǎng)高素質(zhì)微電子人才為目標(biāo)，探討教學(xué)內(nèi)容、教學(xué)模式、實(shí)驗(yàn)配套設(shè)施與師資隊(duì)伍建設(shè)的創(chuàng)新性改革方案，形成以學(xué)生為本、產(chǎn)教融合、特色鮮明的教學(xué)方法與人才培養(yǎng)體系。

關(guān)鍵詞：微電子;實(shí)驗(yàn)教學(xué);人才培養(yǎng);教學(xué)改革

中圖分類號(hào)： G642 ? ? ? 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A ? ? ? ? 文章編號(hào)：2096-000X（2020）13-0114-05

Abstract： Microelectronics has the characteristics of strong comprehensiveness and practicality. It is of great significance to strengthen the reform of experimental teaching to cultivate students' professional practice ability and innovation ability. In view of the main problems existing in the experimental teaching of semiconductor process test， the basic experimental course of microelectronics specialty， the root causes of the problems are analyzed and the solutions are actively explored. Aiming at focusing on the effect of experimental teaching， improving the quality of experimental teaching and cultivating high-quality microelectronic talents， this paper discusses the innovative reform plan of teaching content， teaching model， experimental supporting facilities and construction of teacher team， and forms a student-oriented， production-teaching integration and distinctive teaching method and talent cultivation system.

Keywords： Microelectronics; experimental teaching; talent cultivation; teaching reform

引言

隨著全球科技的發(fā)展，半導(dǎo)體與集成電路已經(jīng)成為影響國(guó)家經(jīng)濟(jì)及國(guó)防安全的關(guān)鍵，其發(fā)展壯大對(duì)提高我國(guó)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力和社會(huì)民生具有重要戰(zhàn)略意義[1]。當(dāng)前中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)正面臨艱巨挑戰(zhàn)，特別是在少數(shù)國(guó)家頻頻動(dòng)用國(guó)家力量無端打壓中國(guó)科技企業(yè)的背景下，針對(duì)國(guó)際、國(guó)內(nèi)行業(yè)形勢(shì)和國(guó)家戰(zhàn)略需求，加強(qiáng)微電子領(lǐng)域?qū)W生創(chuàng)新能力培養(yǎng)，為我國(guó)微電子領(lǐng)域輸出更多創(chuàng)新型人才至關(guān)重要。為此，國(guó)家陸續(xù)出臺(tái)政策，對(duì)集成電路進(jìn)行重點(diǎn)扶持，并不斷健全集成電路人才培養(yǎng)體系，支持微電子學(xué)科發(fā)展[1，2]。

實(shí)驗(yàn)教學(xué)是微電子本科教學(xué)中的重要組成部分，是培養(yǎng)學(xué)生專業(yè)實(shí)踐能力和創(chuàng)新能力的重要環(huán)節(jié)[3，4]，在創(chuàng)新型人才培養(yǎng)中占有非常重要的地位。目前，國(guó)內(nèi)高校普遍存在重科研輕教學(xué)，重理論輕實(shí)驗(yàn)的情況。近年來，很多高校認(rèn)識(shí)到傳統(tǒng)教學(xué)的誤區(qū)，開始注重本科實(shí)驗(yàn)教學(xué)工作，開展了一系列的實(shí)驗(yàn)教學(xué)改革研究工作。但目前，微電子類實(shí)驗(yàn)教學(xué)仍然存在一些問題亟待解決?！栋雽?dǎo)體工藝檢測(cè)實(shí)驗(yàn)》是微電子領(lǐng)域的一門專業(yè)實(shí)驗(yàn)課，該實(shí)驗(yàn)課程仍然存在教學(xué)模式守舊，教學(xué)方法老套，實(shí)驗(yàn)設(shè)備陳舊，追蹤前沿科學(xué)不足等問題。本文以培養(yǎng)高水平、創(chuàng)新性、綜合型微電子人才為目標(biāo)，剖析問題根源，研究改革方案，形成以學(xué)生為本、產(chǎn)教融合、特色鮮明的教學(xué)方法與人才培養(yǎng)體系，為國(guó)家微電子事業(yè)發(fā)展提供可靠保障。

一、半導(dǎo)體工藝檢測(cè)實(shí)驗(yàn)存在的主要問題

目前，《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)普遍存在實(shí)驗(yàn)內(nèi)容陳舊，與目前微電子領(lǐng)域研究熱點(diǎn)不匹配;設(shè)備陳舊，與產(chǎn)業(yè)發(fā)展脫節(jié);授課方式老套，學(xué)生被動(dòng)參與;實(shí)驗(yàn)教學(xué)師資配備不足，綜合實(shí)力較弱等問題。深入認(rèn)識(shí)實(shí)驗(yàn)課程存在的主要問題是分析探索可行解決方案的前提條件。

（一）實(shí)驗(yàn)內(nèi)容守舊，前沿涉及不足

微電子專業(yè)具有發(fā)展迅速的特點(diǎn)。近年來，針對(duì)理論課程知識(shí)體系陳舊，跟蹤前沿遲緩的特點(diǎn)，各大高校都在進(jìn)行積極探索，大力支持教學(xué)改革[5-7]，逐步改善教學(xué)內(nèi)容，緊跟快速發(fā)展的產(chǎn)業(yè)與科學(xué)前沿需求。然而，實(shí)驗(yàn)教學(xué)環(huán)節(jié)中，由于實(shí)驗(yàn)設(shè)備經(jīng)費(fèi)限制，實(shí)驗(yàn)教師團(tuán)隊(duì)觀念守舊等問題，使得實(shí)驗(yàn)課程普遍存在實(shí)驗(yàn)內(nèi)容陳舊，以驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)為主，很少涉及引發(fā)學(xué)生思考、引導(dǎo)和鼓勵(lì)學(xué)生進(jìn)行科學(xué)研究的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展和學(xué)科前沿研究脫節(jié)的客觀事實(shí)，亟待改變。

（二）實(shí)驗(yàn)設(shè)備陳舊，與產(chǎn)業(yè)發(fā)展脫節(jié)

由于實(shí)驗(yàn)室建設(shè)時(shí)經(jīng)費(fèi)不足，設(shè)備更新采購(gòu)時(shí)環(huán)節(jié)復(fù)雜，以及高校仍然存在的重理論輕實(shí)驗(yàn)的教學(xué)理念，使得目前微電子相關(guān)實(shí)驗(yàn)課程普遍存在設(shè)備陳舊，實(shí)驗(yàn)樣品老套的客觀現(xiàn)實(shí)。這就造成學(xué)生在校學(xué)習(xí)和接觸的設(shè)備與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)，設(shè)備使用方法和操作規(guī)程與產(chǎn)業(yè)界的不一致，導(dǎo)致學(xué)生進(jìn)入企業(yè)后使用微電子產(chǎn)業(yè)相關(guān)設(shè)備上手困難，甚至無法適應(yīng)不斷更新的產(chǎn)業(yè)需求。

（三）教學(xué)模式老套，學(xué)生被動(dòng)參與

由于大學(xué)擴(kuò)招，很多學(xué)校的實(shí)驗(yàn)教學(xué)設(shè)備數(shù)量有限，學(xué)生數(shù)量多，5、6個(gè)學(xué)生使用一臺(tái)設(shè)備的情況不是少數(shù)。然而實(shí)驗(yàn)課有不同于理論課[8]的特殊性，多人使用一臺(tái)設(shè)備必然會(huì)影響實(shí)驗(yàn)效果，出現(xiàn)動(dòng)手能力強(qiáng)的學(xué)生積極做實(shí)驗(yàn)，動(dòng)手能力差的學(xué)生越是渾水摸魚。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和實(shí)驗(yàn)報(bào)告抄襲的情況常有發(fā)生。

與此同時(shí)，實(shí)踐教學(xué)還表現(xiàn)為授課方式老套，需要學(xué)生自己決定、通過思考獲得、積極主動(dòng)參與的部分偏少，導(dǎo)致學(xué)生實(shí)驗(yàn)課上參與度和積極性不高，處理實(shí)際問題能力不足。

（四）實(shí)驗(yàn)教學(xué)師資配備不足，綜合實(shí)力較弱

由于各大高校仍然存在重理論、輕實(shí)驗(yàn)，重科研、輕教學(xué)的現(xiàn)象[9]，這不僅表現(xiàn)在對(duì)實(shí)驗(yàn)教學(xué)經(jīng)費(fèi)投入不夠，還表現(xiàn)在師資隊(duì)伍的配備上。目前，大部分高校的實(shí)驗(yàn)崗位教師為理論課教師兼職，專任實(shí)驗(yàn)崗位教師仍然為碩士、本科學(xué)歷教師為主。同時(shí)，在實(shí)驗(yàn)崗教師的專業(yè)技能培訓(xùn)和實(shí)驗(yàn)室建設(shè)方面的投入力度不大。由于專任實(shí)驗(yàn)技術(shù)崗位教師人數(shù)少，僅有的幾位教師把大部分時(shí)間都放在了上實(shí)驗(yàn)課上，在研究實(shí)驗(yàn)教學(xué)方法和教學(xué)模式提升方面投入精力有限。這將對(duì)提升實(shí)驗(yàn)教學(xué)效果，推進(jìn)實(shí)驗(yàn)教學(xué)建設(shè)工作產(chǎn)生很大阻力。因此，加大實(shí)驗(yàn)崗位教師團(tuán)隊(duì)建設(shè)，完善團(tuán)隊(duì)師資梯隊(duì)，提高師資綜合實(shí)力是亟待解決的問題，也是深入學(xué)習(xí)和貫徹習(xí)近平總書記 “以本為本”、推進(jìn)“四個(gè)回歸”建設(shè)[10]重要講話精神，積極改善“重科研輕教學(xué)”現(xiàn)狀的重要舉措。

二、半導(dǎo)體工藝檢測(cè)實(shí)驗(yàn)的改革措施

針對(duì)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中存在的主要問題，以關(guān)注實(shí)驗(yàn)教學(xué)效果，提高實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量，培養(yǎng)高素質(zhì)微電子人才為目標(biāo)，深入分析問題根源，積極探索教學(xué)內(nèi)容、教學(xué)模式、實(shí)驗(yàn)配套設(shè)施與師資建設(shè)的創(chuàng)新性改革方案，是為學(xué)校、為社會(huì)、為國(guó)家培養(yǎng)微電子創(chuàng)新實(shí)踐人才的必經(jīng)之路。

（一）更新實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，補(bǔ)充新知識(shí)、新技術(shù)

針對(duì)《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)課中存在的內(nèi)容守舊、前沿涉及不足的問題，我校“集成電路實(shí)驗(yàn)教學(xué)示范中心”對(duì)實(shí)驗(yàn)教材內(nèi)容進(jìn)行更新和替換，適當(dāng)補(bǔ)充新知識(shí)、新技術(shù)，拓展實(shí)驗(yàn)內(nèi)容。實(shí)驗(yàn)教中心以往的《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)包括：橢偏法測(cè)薄膜厚度、干涉法測(cè)薄膜厚度、MOSFET CV特性測(cè)試、半導(dǎo)體材料四探針電阻率測(cè)試等。當(dāng)前的半導(dǎo)體工藝檢測(cè)在膜厚測(cè)量方面比較常用的是橢偏法，而干涉法作為一種比較經(jīng)典的膜厚測(cè)量方法，在現(xiàn)有半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域應(yīng)用較少，為避免重復(fù)、突出重點(diǎn)，《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)中保留橢偏法、去掉干涉法。在橢偏法實(shí)驗(yàn)過程中將干涉法作為薄膜厚度測(cè)量方法的拓展內(nèi)容進(jìn)行簡(jiǎn)要介紹即可。

增加新實(shí)驗(yàn)——GaN材料的熒光（PL）光譜分析。GaN基材料作為第三代半導(dǎo)體的典型代表，在光電照明領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用，是全球研究的前沿和熱點(diǎn)。GaN藍(lán)光LED實(shí)現(xiàn)了白光發(fā)射，被廣泛應(yīng)用于固態(tài)照明領(lǐng)域。因此有必要對(duì)GaN基LED的特性進(jìn)行分析研究，增強(qiáng)學(xué)生對(duì)該領(lǐng)域的了解。該實(shí)驗(yàn)內(nèi)容主要包括：（1）熟悉熒光光譜分析儀的使用方法和操作流程;（2）熟悉GaN基LED的基本結(jié)構(gòu)，異質(zhì)外延的基本概念。（3）掌握GaN和InN形成的三元合金InxGa（1-x）N的禁帶寬度和晶格常數(shù)（a、c）與In組分的關(guān)系，會(huì)通過PL普的測(cè)量計(jì)算InxGa（1-x）N的In組分和晶格常數(shù)等參數(shù)。（4）比較樣品熒光光譜峰位和強(qiáng)度，分析樣品發(fā)光效率的優(yōu)劣。

本實(shí)驗(yàn)課流程主要包括：課前預(yù)習(xí)檢查;產(chǎn)業(yè)和科研背景介紹，機(jī)理介紹;實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo)，實(shí)驗(yàn)設(shè)備使用方法和注意事項(xiàng);學(xué)生實(shí)驗(yàn)。通過GaN材料的PL普分析實(shí)驗(yàn)，讓本科生更加深入的了解第三代半導(dǎo)體材料的特性及其應(yīng)用，順應(yīng)時(shí)代發(fā)展，緊跟科技前沿。

（二）更新實(shí)驗(yàn)設(shè)備，優(yōu)化教學(xué)環(huán)節(jié)

為解決實(shí)驗(yàn)設(shè)備老舊，設(shè)備操作方式與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題，響應(yīng)教育部產(chǎn)學(xué)合作、協(xié)同育人的教育理念[2]，學(xué)校和學(xué)院投資經(jīng)費(fèi)大力支持實(shí)驗(yàn)中心建設(shè)工作，主動(dòng)對(duì)接產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備進(jìn)行全面更新和部分替代。同時(shí)，“集成電路實(shí)驗(yàn)教學(xué)示范中心”與微電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)溝通，與設(shè)備廠商合作，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)教學(xué)環(huán)節(jié)優(yōu)化，以高精度通用儀表為核心，搭配專業(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備的模塊化實(shí)驗(yàn)方案，實(shí)現(xiàn)實(shí)踐能力教育的產(chǎn)業(yè)鏈打通與覆蓋。新的實(shí)驗(yàn)設(shè)備采用先進(jìn)的技術(shù)，具備更加人性化的人機(jī)界面，其操作方式和現(xiàn)代化的產(chǎn)業(yè)設(shè)備更加吻合。實(shí)驗(yàn)設(shè)備更新和教學(xué)環(huán)節(jié)優(yōu)化，使學(xué)生具有滿足工程實(shí)際需要的實(shí)踐能力，使得微電子專業(yè)實(shí)踐能力培養(yǎng)水平大幅提高。

（三）實(shí)驗(yàn)教學(xué)模式改進(jìn)，改善教學(xué)效果

1. 改變教學(xué)細(xì)節(jié)，探索網(wǎng)絡(luò)化教學(xué)新模式

實(shí)驗(yàn)課課堂教學(xué)的側(cè)重點(diǎn)從照本宣書，機(jī)械介紹實(shí)驗(yàn)原理、設(shè)備操作方法和實(shí)驗(yàn)步驟，拓展到講解實(shí)驗(yàn)及實(shí)驗(yàn)涉及的理論知識(shí)在工程實(shí)踐中的應(yīng)用范圍，以及可以實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)?zāi)康牡钠渌椒?。激發(fā)學(xué)生做實(shí)驗(yàn)的興趣，啟發(fā)學(xué)生思考理論知識(shí)在實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用價(jià)值，使學(xué)生更加深入理解理論知識(shí)，學(xué)以致用，提高探索學(xué)習(xí)能力和綜合應(yīng)用能力。采用網(wǎng)絡(luò)教學(xué)和線下教學(xué)深度融合的教學(xué)模式，實(shí)現(xiàn)《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)課的教師和學(xué)生跨越時(shí)空限制的自由交流，實(shí)現(xiàn)從“課堂內(nèi)”向“課堂外”延伸，從“教室內(nèi)”向“教室外”拓展[10]。

增加提問環(huán)節(jié)：如在“橢偏法測(cè)膜厚”實(shí)驗(yàn)課上，設(shè)問：膜厚測(cè)量在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的重要性體現(xiàn)在哪里，常用的測(cè)量膜厚的方法有哪些，引導(dǎo)學(xué)生思考，調(diào)動(dòng)學(xué)生積極性。實(shí)驗(yàn)課中增加提問互動(dòng)環(huán)節(jié)后，老師能夠清晰掌握該批學(xué)生的理論知識(shí)掌握程度，重點(diǎn)解決學(xué)生可能存在的問題，同時(shí)調(diào)動(dòng)學(xué)生思考問題，提高實(shí)驗(yàn)課參與度。

拓展實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：如在“橢偏法測(cè)膜厚”實(shí)驗(yàn)中不只講解本實(shí)驗(yàn)原理，還要拓展知識(shí)面，介紹其他常用的或經(jīng)典的測(cè)試方法，如干涉法、比色法，以及科研中常用的透射電子顯微鏡（TEM）法等。簡(jiǎn)單介紹這些方法的測(cè)試原理以及優(yōu)劣，讓學(xué)生了解這些測(cè)試方法在工程應(yīng)用和科學(xué)研究中的其他應(yīng)用領(lǐng)域。

探索網(wǎng)絡(luò)化教學(xué)新模式：充分利用微信、QQ等互聯(lián)網(wǎng)介質(zhì)，建立學(xué)生和任課教師之間的網(wǎng)上答疑系統(tǒng)[11]，教師在課前將預(yù)習(xí)內(nèi)容和要求通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)發(fā)放給學(xué)生，學(xué)生在預(yù)習(xí)過程中將自己的問題通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)反應(yīng)給老師，方便教師提前準(zhǔn)備，在課堂上對(duì)相關(guān)問題進(jìn)行針對(duì)性分析答疑。同時(shí)教師也可通過微信、QQ等網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)分享《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)拓展內(nèi)容和教學(xué)資源，如實(shí)驗(yàn)視頻、習(xí)題講解和課件等，方便學(xué)生課后自主學(xué)習(xí)。這種線上線下有機(jī)融合的教學(xué)模式對(duì)學(xué)生學(xué)習(xí)具有有利的促進(jìn)作用。

2. 小班授課，提高學(xué)生參與度

為提高實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量，分批分時(shí)段自主選實(shí)驗(yàn)的小班授課方法會(huì)很好的避免多人使用一臺(tái)設(shè)備影響實(shí)驗(yàn)效果的問題。我們的實(shí)驗(yàn)課安排為8人一批，先進(jìn)行集體小桌授課，進(jìn)行提問環(huán)節(jié)和實(shí)驗(yàn)原理講解與內(nèi)容拓展，進(jìn)行教師發(fā)問學(xué)生解答和學(xué)生提問教師解答的互動(dòng)探討模式。

然后8人自由組合為4組，每2人一組使用一臺(tái)設(shè)備，需要在不同實(shí)驗(yàn)條件下測(cè)試2組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，學(xué)生各自記錄自己的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，并進(jìn)行分析。這樣的組合既可以讓學(xué)生在實(shí)驗(yàn)中能夠互相探討學(xué)習(xí)，提高合作能力，又可以避免渾水摸魚和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)抄襲的情況發(fā)生，讓每個(gè)學(xué)生都能夠親自參與動(dòng)手實(shí)驗(yàn)。

3. 細(xì)化考核方式，實(shí)現(xiàn)公平公正

該實(shí)驗(yàn)課程屬于專業(yè)基礎(chǔ)性實(shí)驗(yàn)，與設(shè)計(jì)性實(shí)驗(yàn)不同，不涉及綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)，因此在實(shí)驗(yàn)成績(jī)考核方式上單個(gè)實(shí)驗(yàn)的細(xì)化考核就更加重要。根據(jù)該實(shí)驗(yàn)課實(shí)施過程的實(shí)際情況，確定細(xì)化考核指標(biāo)，讓考核分?jǐn)?shù)公正、明確、可行[11]。具體的考核方法如下。

單個(gè)實(shí)驗(yàn)的成績(jī)考核占比為：課前預(yù)習(xí)15%，出勤情況5%、實(shí)驗(yàn)參與度10%，實(shí)驗(yàn)操作20%、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)10%，實(shí)驗(yàn)報(bào)告（原理、數(shù)據(jù)處理和拓展思考題）40%。注重課前預(yù)習(xí)和實(shí)驗(yàn)過程考核，按照學(xué)生在實(shí)驗(yàn)完成中的參與度分為3個(gè)等級(jí)：實(shí)驗(yàn)主導(dǎo)者，應(yīng)付敷衍者和被動(dòng)參與者，鼓勵(lì)學(xué)生積極參與到實(shí)驗(yàn)中;實(shí)驗(yàn)報(bào)告發(fā)現(xiàn)雷同抄襲者絕不姑息，抄襲部分一律0分處理，詳見表1。實(shí)驗(yàn)?zāi)芰y(cè)試為實(shí)驗(yàn)課外的獨(dú)立考試環(huán)節(jié)。

單個(gè)實(shí)驗(yàn)的總成績(jī)=課前預(yù)習(xí)15%+實(shí)驗(yàn)過程45%+實(shí)驗(yàn)報(bào)告40%

實(shí)驗(yàn)課成績(jī)=單個(gè)實(shí)驗(yàn)的總成績(jī)

該實(shí)驗(yàn)課不設(shè)置專門的期末考試，注重實(shí)驗(yàn)過程考核，將單個(gè)實(shí)驗(yàn)的平時(shí)成績(jī)綜合評(píng)估作為期末成績(jī)。提高學(xué)生對(duì)每次實(shí)驗(yàn)的重視程度。而對(duì)于實(shí)驗(yàn)?zāi)芰Φ目己碎_設(shè)專門的能力測(cè)試考試來對(duì)每一位學(xué)生進(jìn)行單獨(dú)評(píng)估，實(shí)行一人一題，單人單考。

4. 加強(qiáng)師資建設(shè)投入

多層次實(shí)驗(yàn)技術(shù)崗位教師隊(duì)伍建設(shè)是高校實(shí)驗(yàn)教學(xué)的必然趨勢(shì)。增加高學(xué)歷專業(yè)人才是提高高校實(shí)驗(yàn)系列教育的首要之舉。教師的高度決定了學(xué)生的水平。高學(xué)歷、經(jīng)驗(yàn)豐富的實(shí)驗(yàn)技術(shù)崗位教師掌握先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)技術(shù)手段，解決本學(xué)科實(shí)驗(yàn)技術(shù)的疑難問題，提高學(xué)生創(chuàng)新思維和動(dòng)手解決問題的能力。只有提供教師隊(duì)伍的整體的專業(yè)知識(shí)素養(yǎng)，才有可能培養(yǎng)出高水平的專業(yè)技術(shù)研究人員和工程師。

我?！凹呻娐穼?shí)驗(yàn)教學(xué)示范中心”積極引進(jìn)新增博士學(xué)位實(shí)驗(yàn)技術(shù)崗位專職教師4名，加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)技術(shù)崗位隊(duì)伍建設(shè)。目前，實(shí)驗(yàn)中心師資隊(duì)伍層次健全，其中包括正高3名，副高2名，講師4名。主講《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)課的教師具有微電子博士學(xué)位，系統(tǒng)學(xué)習(xí)過微電子相關(guān)的理論課程和實(shí)驗(yàn)課程，具有相關(guān)方向的研究經(jīng)驗(yàn)，熟悉微電子相關(guān)實(shí)驗(yàn)設(shè)備及其原理，具有較高的研究能力和實(shí)驗(yàn)探索能力。我實(shí)驗(yàn)中心還在不斷加大師資隊(duì)伍建設(shè)，今后教師梯隊(duì)將會(huì)更加完善。教師隊(duì)伍的壯大，不斷引入新鮮年輕血液，將為《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)課的改革建設(shè)工作提供可靠保障。

三、改革成效

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容更新，讓學(xué)生真正接觸到了更接近工程應(yīng)用和科學(xué)前沿的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，激發(fā)了學(xué)生的興趣，提高了學(xué)生的工程實(shí)踐能力和科研激情;采用網(wǎng)絡(luò)教學(xué)和線下教學(xué)深度融合的教學(xué)模式，實(shí)現(xiàn)了教師和學(xué)生跨越時(shí)空限制的自由交流，實(shí)現(xiàn)從“課堂內(nèi)”向“課堂外”延伸，從 “教室內(nèi)”向“教室外”拓展;以學(xué)生為主，小班授課的方式，真正做到了每個(gè)學(xué)生親自實(shí)驗(yàn)，讓一些對(duì)實(shí)驗(yàn)有恐怖心理的學(xué)生從被動(dòng)實(shí)驗(yàn)往慣性自主實(shí)驗(yàn)和主動(dòng)實(shí)驗(yàn)轉(zhuǎn)變，大幅提高了實(shí)驗(yàn)效果;實(shí)驗(yàn)考核方法的改進(jìn)，使實(shí)驗(yàn)考核公正、明確、可行，學(xué)生也有了明確的目標(biāo);實(shí)驗(yàn)設(shè)備更新和教學(xué)環(huán)節(jié)優(yōu)化，使學(xué)生具有滿足工程實(shí)際需要的實(shí)踐能力;教師隊(duì)伍的壯大，引入更多的新鮮年輕血液，為《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》等實(shí)驗(yàn)課的建設(shè)改革工作提供了可靠保障。這一系列實(shí)驗(yàn)課程的改革措施對(duì)實(shí)驗(yàn)效果產(chǎn)生了顯著的積極影響，不僅使《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)教學(xué)水平大幅提高，教學(xué)效果大幅提升，對(duì)其他微電子實(shí)驗(yàn)教學(xué)也起到同樣的示范效應(yīng)。

四、結(jié)束語(yǔ)

《半導(dǎo)體工藝檢測(cè)》實(shí)驗(yàn)的改革使得微電子專業(yè)實(shí)踐能力培養(yǎng)水平大幅提高。我們還將不斷加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)教學(xué)方法與技術(shù)的改革創(chuàng)新，堅(jiān)持學(xué)生為本、產(chǎn)教融合，積極推進(jìn)“四個(gè)回歸”建設(shè)，使我校微電子實(shí)驗(yàn)教學(xué)優(yōu)勢(shì)突出、特色鮮明，不斷提升我校微電子實(shí)驗(yàn)教學(xué)的教學(xué)水平和教學(xué)效果，促進(jìn)構(gòu)建適應(yīng)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的人才培養(yǎng)體系，為經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國(guó)家安全提供強(qiáng)有力的人才保障和智力支撐。

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