腔室
- PC控制技術(shù)在ALD系統(tǒng)中的應(yīng)用研究
(同時)通入反應(yīng)腔室不同,ALD技術(shù)是將前驅(qū)體源以脈沖的形式交替通入反應(yīng)腔室中并在基底表面發(fā)生吸附和反應(yīng)生成薄膜[3]。表面化學(xué)反應(yīng)的自限制性[4]和自飽和性是ALD技術(shù)的基礎(chǔ),決定了ALD薄膜具有表面均勻和薄膜厚度精確可控等特點,使其在微電子和其他納米器件制造領(lǐng)域備受關(guān)注,成為集成電路工業(yè)中極其重要的主流薄膜制備技術(shù)[3,5]。近年來,國內(nèi)外的半導(dǎo)體制造商都先后推出了不同類型的原子層沉積設(shè)備,其控制系統(tǒng)大多采用傳統(tǒng)PLC控制系統(tǒng)[6](如圖1所示)。傳統(tǒng)
計算技術(shù)與自動化 2023年4期2023-12-27
- 數(shù)字PCR 芯片的熒光圖像處理與分析*
利用網(wǎng)格對微反應(yīng)腔室進行劃分和定位，然后對每個腔室的熒光信號進行判斷，統(tǒng)計陽性熒光點。由周淑芳等提出，先人為確定熒光圖像中三個頂角微反應(yīng)腔室的中心位置，利用最大化引力方程進行修正，基于投影法實現(xiàn)圖像的網(wǎng)格劃分和中心定位，根據(jù)定位實現(xiàn)圖像拼接和陽性腔室識別［3］，對于信號較弱或者陰性腔室比例大的圖像可能造成網(wǎng)格劃分不準的情況，而且需要手動輔助操作。許靜等提出通過計算提取的輪廓周長，并設(shè)置雙閾值篩選出陽性腔室［4］，該方法對于腔室之間或者腔室與污點之間存在粘連
計算機與數(shù)字工程 2023年6期2023-09-29
- 反應(yīng)堆頂蓋腔室流場實驗研究
經(jīng)過堆芯后進入上腔室，上封頭旁流[1]則通過堆芯吊籃上的噴嘴流水孔進入頂蓋腔室（又稱上封頭腔室），對頂蓋腔室及其內(nèi)部構(gòu)件進行冷卻，之后流入上腔室，與堆芯出口的冷卻主流匯合后流出反應(yīng)堆壓力容器。頂蓋腔室內(nèi)的水力參數(shù)測量是上封頭結(jié)構(gòu)力學(xué)分析和流致振動評價的基礎(chǔ)，而水力學(xué)參數(shù)又取決于流場，因此，研究頂蓋腔室內(nèi)的流場對反應(yīng)堆的結(jié)構(gòu)設(shè)計具有重要的意義。國內(nèi)外許多研究單位利用CFD 研究反應(yīng)堆內(nèi)的流場[2-5]，也有研究單位對反應(yīng)堆開展了實驗研究，但多是利用縮比的模型
科技創(chuàng)新與應(yīng)用 2023年22期2023-08-07
- 電子鼻嗅出揮發(fā)性有機化合物
設(shè)計是一個垂直的腔室，看起來很像花灑噴頭。當(dāng)氣體通過設(shè)備底部的小孔和周圍均勻分布的傳感器擴散時，會促進垂直流動。利用流體力學(xué)模擬，該團隊優(yōu)化了電子鼻室的體積、對稱性、孔位置和傳感器位置。他們增加了一個分流裝置，以促進液體流動，縮短反應(yīng)時間。研究人員制造了一個特氟龍室，并測量了電子鼻的傳感性能。他們比較了兩個腔室，一個有分流，另一個沒有分流。帶有分流裝置的腔室在檢測示例VOC方面性能提高了約1.3倍。這一使用分流裝置來控制流體流動的策略是電子鼻技術(shù)發(fā)展的一個
家庭醫(yī)學(xué) 2023年12期2023-07-13
- 基于Geant4的碳離子治療三維電離室陣列仿真設(shè)計
置于模體中的電離腔室內(nèi)產(chǎn)生的電離量進行轉(zhuǎn)換。布拉格-格雷空腔理論示于圖1。由圖1可知，在碳離子束照射下，電離腔室的直徑一般小于次級電子的最大射程，且電離腔室內(nèi)的電離是由碳離子束在其室壁材料中產(chǎn)生的次級電子所致。當(dāng)電離腔室的室壁材料與模體材料不等效時，會改變?nèi)肷涞诫婋x腔室中的次級電子注量和能譜，從而產(chǎn)生測量誤差。為簡化三維電離室陣列的結(jié)構(gòu)，并提高電離腔室測量劑量的準確性，本研究選擇PMMA同時作為水等效模體材料和電離室室壁材料，以均勻分布于PMMA中的三維電
原子能科學(xué)技術(shù) 2023年2期2023-02-21
- 結(jié)構(gòu)參數(shù)對貫通擋板袋型阻尼密封動力特性的影響*
擋板分隔迷宮密封腔室，阻止氣流周向流動的新結(jié)構(gòu)，即袋型阻尼密封。袋型阻尼密封由于結(jié)構(gòu)簡單，獲得了廣泛的應(yīng)用。如圖1所示[6]，典型的袋型阻尼密封由交替排列的基本腔室和二次腔室組成，基本腔室被周向的擋板分隔。為了獲得正阻尼，基本腔室設(shè)計成發(fā)散型間隙，與之配合，二次腔室設(shè)計成收斂型間隙。文中所述貫穿擋板袋型阻尼密封，其二次腔室也被擋板貫穿，進一步削弱周向環(huán)流對其動力特性的影響，其結(jié)構(gòu)如圖 2所示[7]。針對該型密封結(jié)構(gòu)參數(shù)對動力特性的影響，國內(nèi)外學(xué)者做了大量工
潤滑與密封 2023年1期2023-02-06
- 急冷增濕塔以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
所述塔體包括冷卻腔室、腔室入口以及腔室出口，所述腔室入口以及所述腔室出口分別開設(shè)在所述塔體的外壁并與所述冷卻腔室連通，其中，所述腔室入口位于所述塔體的下部，所述腔室出口位于所述塔體的上部；所述噴淋機構(gòu)設(shè)置在所述冷卻腔室中，所述噴淋機構(gòu)包括第一噴淋口和第二噴淋口，所述第一噴淋口配置為能夠向下噴淋冷卻液體，所述第二噴淋口配置為能夠向上噴淋冷卻液體，所述第一噴淋口和所述第二噴淋口相互背離設(shè)置。本實用新型的急冷增濕塔能夠迅速、有效地對工藝氣體進行降溫，進而縮短含硫
能源化工 2022年1期2023-01-14
- 轉(zhuǎn)化器以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
體的內(nèi)部具有轉(zhuǎn)化腔室，所述轉(zhuǎn)化器殼體開設(shè)有分別與所述轉(zhuǎn)化腔室連通的轉(zhuǎn)化氣入口和轉(zhuǎn)化氣出口；所述觸媒層組件包括至少2個觸媒層，多個所述觸媒層設(shè)置在所述轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動方向間隔布置；所述換熱器的數(shù)量與所述觸媒層的數(shù)量相適應(yīng)，所述換熱器至少部分位于所述轉(zhuǎn)化腔室中并設(shè)置在相鄰的2個所述觸媒層之間。本發(fā)明的轉(zhuǎn)化器具有使用成本較低、換熱器放置穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)簡單緊湊，換熱效率高的優(yōu)點。
能源化工 2022年1期2023-01-14
- 仿蓮式結(jié)構(gòu)多腔液壓缸的設(shè)計及仿真分析
過多個不同尺寸的腔室互相組合從而實現(xiàn)對液壓缸輸出力的調(diào)節(jié)，以匹配多足機器人不同運動狀態(tài)時的負載。1 仿蓮式多腔液壓缸的設(shè)計原理1.1 基本思路蓮進行呼吸作用時需要的空氣來自于荷葉，若把一枝蓮看作是一個多足機器人關(guān)節(jié)，荷葉就可以看作是驅(qū)動關(guān)節(jié)的液壓缸。蓮的結(jié)構(gòu)如圖1(a)所示，當(dāng)藕需要進行呼吸作用時，通過荷梗傳遞指令至荷葉，控制荷葉表面氣孔的開閉程度。圖1(b)所示為多足機器人腿部驅(qū)動，此類機器人多采用液壓缸驅(qū)動(相當(dāng)于荷葉)，由電氣控制系統(tǒng)和液壓控制系統(tǒng)(
武漢科技大學(xué)學(xué)報 2022年6期2022-10-10
- 流延膜機負壓風(fēng)刀系統(tǒng)流場仿真及結(jié)構(gòu)優(yōu)化
主要包括第一負壓腔室、第二負壓腔室、承接板、阻風(fēng)板、濾風(fēng)板和吸風(fēng)管。其中，阻風(fēng)板、承接板和濾風(fēng)板分別設(shè)置在第一負壓腔室和第二負壓腔室，用于均勻氣流及承接凝聚物，使氣流平穩(wěn)，薄膜受力均勻，避免因薄膜受力不均而導(dǎo)致薄膜變形。第一負壓腔室負責(zé)吸走主冷輥與薄膜之間的空氣和煙霧，第二負壓腔室進一步吸走主冷輥表面的氣流層，同時起到清潔輥面的作用。在薄膜生產(chǎn)過程中，煙霧凝結(jié)、滴油現(xiàn)象主要發(fā)生在第一負壓腔室，因此主要對負壓風(fēng)刀系統(tǒng)第一負壓腔室的流場進行分析。負壓風(fēng)刀系統(tǒng)第
機床與液壓 2022年8期2022-09-19
- 類橢圓型螺桿泵與常規(guī)采油螺桿泵舉升性能對比
模型上，給定低壓腔室壓力，逐漸提高施加于高壓腔室內(nèi)的壓力，即增大其壓差。當(dāng)密封帶上的接觸應(yīng)力逐漸減小至與壓差相等，則密封帶上最易泄漏位置處于密封與泄漏的臨界狀態(tài)，此時的接觸應(yīng)力為臨界接觸應(yīng)力［13］。2.1 確定密封帶泄漏位置單頭單螺桿泵的密封帶連續(xù)循環(huán)，考慮到減少計算量和密封帶的循環(huán)對稱性，采用1/2導(dǎo)程單頭單螺桿泵實體模型進行計算［14］。如圖3（a）所示，標(biāo)示區(qū)域是密封帶上密封的薄弱環(huán)節(jié)，為最易發(fā)生泄漏位置；由于類橢圓型螺桿泵和雙頭短幅內(nèi)擺線型螺桿泵
中國工程機械學(xué)報 2022年4期2022-09-14
- Sudden cardiac death in a case of Crohn's disease with COVID-19: A case report
較大流速直接沖入腔室，從而產(chǎn)生流場擾動，且中心區(qū)域孔密度較高，邊緣孔密度小，邊緣流線較稀疏；The authors report no conflict of interest.FundingThis study received no extramural founding.Authors’ contributionsN.K.: Manuscript writing, proofreading, and final drafting; S.G.:Case
Journal of Acute Disease 2022年3期2022-07-02
- 新型葉頂汽封的數(shù)值計算與分析
間隙、有效齒數(shù)、腔室結(jié)構(gòu)決定的。然而，在汽輪機實際設(shè)計中，汽封的間隙和齒數(shù)往往受到徑向脹差和軸向脹差等約束條件而無法優(yōu)化，尤其是大功率機組低壓缸，因而，減小漏氣量最有效的方法就是優(yōu)化汽封腔室結(jié)構(gòu)。例如，目前廣泛運用于汽輪機葉頂、隔板的迷宮式汽封，其原理就是氣流通過節(jié)流膨脹，在汽封腔室內(nèi)形成漩渦，流體域被腔室結(jié)構(gòu)所控制，通過腔室結(jié)構(gòu)增強漩渦并使得汽封間隙及齒數(shù)相同的情況下漏氣量大大降低。然而對于軸向脹差較大的汽輪機，例如大功率機組低壓缸，離推力軸承距離較遠，
東方汽輪機 2021年4期2022-01-18
- 轉(zhuǎn)化器以及含硫廢棄物處理系統(tǒng)
出口均與第一轉(zhuǎn)化腔室連通以使工藝氣體能夠從第一轉(zhuǎn)化氣入口流至第一轉(zhuǎn)化氣出口；第二轉(zhuǎn)化氣入口和第二轉(zhuǎn)化氣出口均與第二轉(zhuǎn)化腔室連通以使工藝氣體能夠從第二轉(zhuǎn)化氣入口流至第二轉(zhuǎn)化氣出口；第一觸媒層和第二觸媒層均設(shè)置在第一轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動方向間隔布置；第四觸媒層設(shè)置在第二轉(zhuǎn)化腔室中；第三觸媒層設(shè)置在第一轉(zhuǎn)化腔室或第二轉(zhuǎn)化腔室中并沿工藝氣體的流動方向與其他觸媒層間隔布置。本實用新型的轉(zhuǎn)化器具有占地面積小、熱損失少，轉(zhuǎn)化效率高的優(yōu)點。
能源化工 2021年6期2021-12-30
- 穿孔共振腔消聲器聲學(xué)性能研究
遞矩陣法來預(yù)測多腔室穿孔共振消聲器的聲學(xué)性能，并且通過遺傳算法優(yōu)化設(shè)計，在限制消聲器空間尺寸條件下獲得了最優(yōu)結(jié)構(gòu)外形。傳遞矩陣法可以快速計算消聲器傳遞損失，但是計算頻率上限和精度受制于共振腔室的截止頻率，而有限元法則能更準確地預(yù)測穿孔共振腔消聲器的聲學(xué)性能。鄭晗等[2]采用一維解析法和三維有限元法計算了穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，結(jié)果表明，三維有限元法能在全頻段內(nèi)準確預(yù)測消聲器的傳遞損失。徐貝貝等[3]采用三維有限元法預(yù)測和分析穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，有限元計
噪聲與振動控制 2021年6期2021-12-15
- 壓電噴墨腔室鍵合工藝的研究
刷[10]。噴墨腔室作為儲墨和供墨的結(jié)構(gòu)，是噴墨打印頭的核心部件之一，對墨水的壓力波傳導(dǎo)和墨滴的形成具有重要作用。為了實現(xiàn)高質(zhì)量的噴射，制備符合噴墨要求的腔室具有重要意義。目前噴墨腔室的鍵合工藝方法主要有膠粘鍵合、硅硅高溫鍵合、硅硅低溫鍵合、熱鍵合、干膜層壓鍵合等。Shen等[11]結(jié)合微電鑄和微注塑工藝制作噴墨打印頭的開放腔室，再通過膠粘鍵合的方法將開放腔室與發(fā)熱元件組合在一起，得到熱氣泡式噴墨打印頭。這種工藝可以實現(xiàn)大批量生產(chǎn)，但是在膠粘過程中黏結(jié)劑容
機電工程技術(shù) 2021年10期2021-11-23
- 偏心距對類橢圓形采油螺桿泵舉升性能的影響
觸實現(xiàn)螺桿泵內(nèi)部腔室間的密封。 如圖1 所示，螺桿泵工作時，轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)部連續(xù)運動，定轉(zhuǎn)子接觸點不斷發(fā)生變化，介質(zhì)在地下壓力的作用下充滿腔室，密封腔室在螺桿泵軸向上不斷移動，當(dāng)介質(zhì)到達排出端后，密封腔室由大變小直至消失，反復(fù)重復(fù)此過程，介質(zhì)便被舉升至地面，此過程中螺桿泵的排量極為均勻穩(wěn)定［3］。圖1 螺桿泵介質(zhì)舉升過程示意圖由類橢圓形采油螺桿泵定轉(zhuǎn)子線型的成形原理可知［4］，偏心距為影響定轉(zhuǎn)子線型的唯一參數(shù)。 選定3 寸油管（內(nèi)徑為76.2 mm）作為螺桿
化工機械 2021年4期2021-09-11
- Aston半導(dǎo)體計量平臺Atonarp公司
導(dǎo)體蝕刻和沉積、腔室清潔、腔室匹配和氣體減排。Aston通過在流程完成時進行準確檢測（包括腔室清潔）來優(yōu)化生產(chǎn)，從而將所需的清潔時間縮短高達80%。Aston耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液，比現(xiàn)有解決方案更穩(wěn)健，采用獨立雙離子源（包括一個常規(guī)電子轟擊離子源和一個無燈絲等離子體發(fā)生器），能夠在半導(dǎo)體生產(chǎn)遇到的惡劣條件下可靠運行。這使得Aston能夠以原位狀態(tài)在苛刻環(huán)境中使用。與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比，使用Aston的維修間隔長達100倍。它包括自清潔功能，可消
傳感器世界 2021年7期2021-09-10
- 瀑布溝機組上導(dǎo)軸承油槽密封蓋板改造
密封齒，1個密封腔室。2層T型雙層隨動密封齒111、112設(shè)置于上導(dǎo)軸承油槽密封蓋板靠軸頸側(cè)。1個密封腔室，由2層T型雙層隨動密封齒間隔而成，形成的油霧被吸油霧機吸處流回油槽。2層T型雙層隨動密封齒，一旦單個或多個密封齒發(fā)生偏磨、卡阻不復(fù)位的現(xiàn)象，整個密封結(jié)構(gòu)的完整性將遭破壞，一旦長久運行，將影響嚴重密封效果，密封可靠性差，密封失效后滲漏量大[1]。此外，單個密封腔室的吸處及回流管路易擴大滲漏范圍。2 新型結(jié)構(gòu)油槽蓋板密封技術(shù)為解決上述技術(shù)問題，提高密封蓋
水電與新能源 2021年7期2021-08-05
- 上懸窗條件下通風(fēng)控制腔室火災(zāi)溫度的實驗研究
緩慢熄滅[1]。腔室火災(zāi)對人的危害主要表現(xiàn)在火焰、煙氣與室內(nèi)溫度上，因此科學(xué)認識腔室火災(zāi)內(nèi)部溫度隨火災(zāi)發(fā)展的演化規(guī)律，對于保障人們的生命財產(chǎn)安全具有重要的意義[2-12]。長久以來，國內(nèi)外大量的學(xué)者針對腔室室內(nèi)溫度進行了研究。在國外McCaffrey等[2]最早提出了室內(nèi)溫度的預(yù)測公式，F(xiàn)oote等[3]通過實驗研究了強制通風(fēng)對于室內(nèi)溫度的影響。Deal和Beylert[4]開展了腔室火災(zāi)實驗，基于腔室內(nèi)的能量守恒定律，結(jié)合進出腔室的氣體質(zhì)量流率，得出了室
火災(zāi)科學(xué) 2021年1期2021-08-02
- 汽輪機高壓抽口氣動分析及結(jié)構(gòu)改進設(shè)計
抽汽縫隙和抽汽腔室內(nèi)部以及連接管之間的流動參數(shù)在徑向和周向分布不均勻。 這種不均勻分布會改變抽汽縫隙附近汽輪機級的流動狀態(tài)， 并最終改變汽輪機抽汽縫隙附近級效率， 會造成汽輪機的安全隱患。 從提高機組的經(jīng)濟性和安全性等方面考慮， 對汽輪機抽汽系統(tǒng)的抽汽縫隙、 抽汽腔室和連接管內(nèi)的流場進行研究是非常有必要的。 氣流從主流流道通過抽汽縫隙進入抽汽腔室， 最后由連接管流出。 由于抽汽縫隙軸向?qū)挾纫话爿^小， 氣流經(jīng)過它的流動速度較大， 因此氣流具有很大的動能，
東方汽輪機 2021年2期2021-07-19
- 非周期耦合式連續(xù)管減阻器設(shè)計*
的非周期流體振動腔室，即附壁振動腔室和渦街振動腔室。附壁振動腔室設(shè)計中采用了仿生“蝸殼”設(shè)計方案，渦街振動腔室設(shè)計中采用了非均布、多列繞流柱體設(shè)計。周期機械振動模塊產(chǎn)生的軸向振動與非周期流體振動模塊產(chǎn)生的軸向振動發(fā)生耦合，提供減阻器減阻的主要動力；非周期流體振動模塊中附壁振動腔室與渦街振動腔室各自激發(fā)的徑向振動耦合，提供了減阻器減阻的輔助動力；減阻器軸向振動與徑向振動的耦合效應(yīng)，提高了減阻器綜合減阻效果。1 非周期耦合式連續(xù)管減阻器方案“非周期耦合式連續(xù)管
機電工程技術(shù) 2021年4期2021-07-14
- 雙塔吸附式空氣干燥器工作原理及故障分析
）/B（右）干燥腔室、進氣電磁閥、排放電磁閥、進氣/出氣模塊、進氣/排氣氣缸、再生孔板、預(yù)過濾器、除塵過濾器、精過濾器和集成管路等。設(shè)備上有壓力傳感器、溫度傳感器、壓差開關(guān)與露點傳感器，以便于檢測干燥器的運行參數(shù)。1.2 干燥器的工作原理干燥器的工作流程分為干燥、再生和充壓。雙塔吸附式空氣干燥器工作原理如圖1 所示，A、B 兩個腔室結(jié)構(gòu)相同，每個腔室內(nèi)裝有吸附劑，兩個腔室的工作模式通過電磁閥控制氣缸的動作來切換。當(dāng)A 腔室干燥空氣時，B 腔室進行再生過程。
設(shè)備管理與維修 2021年7期2021-06-18
- 淺談高背壓式汽輪機軸封系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計
前3和后1、后2腔室均為正壓，向外漏汽，逐級降壓。汽封加熱器借助抽氣機，在前后軸封最外部腔室（前4、后3）內(nèi)形成微真空（約96kPa），空氣由最外面一段軸封漏入此室，同時，內(nèi)軸封漏出的蒸汽也漏入此室，以此形成密封。汽氣混合物被引入汽封加熱器中，蒸汽凝結(jié)成水疏出，而不凝氣則由抽氣機排向大氣。1.2 高背機應(yīng)用時產(chǎn)生的問題隨著排汽壓力增加，高背機軸封設(shè)計通常會在后軸封第一段增加軸封齒數(shù)的方式來減少排汽端的軸封漏汽量。但如軸封系統(tǒng)不合理調(diào)整，實際密封效果并不理想
中國設(shè)備工程 2021年9期2021-05-18
- 一種中空玄武巖纖維制造裝置及制造方法
件，漏板本體具有腔室，腔室具有相對設(shè)置的開口和底壁，過濾網(wǎng)罩設(shè)于開口，過濾網(wǎng)具有通孔，且通孔與腔室連通，底壁設(shè)置有安裝孔，針芯組件安裝于安裝孔?；诒景l(fā)明提供的中空玄武巖纖維制造裝置的制造方法能夠?qū)崿F(xiàn)中空玄武巖纖維的制造，并且成本控制較好。專利申請?zhí)枺?021101482069專利公布號：CN112981563A申請人：北京航空航天大學(xué)發(fā)明人：楊中甲
高科技纖維與應(yīng)用 2021年3期2021-04-04
- 化學(xué)反應(yīng)自驅(qū)動滾動機器人設(shè)計與實驗
內(nèi)部分為6個反應(yīng)腔室A～F，6個腔室呈周向均勻分布，每個腔室中均放置催化劑，相鄰的2個腔室之間通過單向閥導(dǎo)通。在6個腔室中選擇3個不相鄰的腔室安裝重力閥。重力閥是一種開閉情況隨角度旋轉(zhuǎn)而變化的閥門。當(dāng)重力閥出口朝向與鉛垂線相差角在一定角度以內(nèi)時，閥門關(guān)閉，其他狀態(tài)下閥門打開。向滾動機器人的腔室F注入反應(yīng)液，由于單向閥會阻礙反應(yīng)液向腔室E流動，此時反應(yīng)液會向腔室A流動，逐漸填充腔室A和腔室B。在注入一定量反應(yīng)液后，將滾動機器人置于水平面上，由于滾輪中心對稱，
農(nóng)業(yè)機械學(xué)報 2021年1期2021-02-01
- 某旋轉(zhuǎn)機械閉式葉輪推力的計算
輪蓋、輪盤側(cè)汽封腔室中氣流流動比較復(fù)雜，腔室中壓力分布隨腔室中漏氣量、壁面粗糙度等變化而變化，因此輪蓋、輪盤側(cè)推力計算的準確性，是葉輪推力計算的重點。國內(nèi)外對腔室中壓力分布有廣泛的研究，Russell Marechale等[1]通過試驗及CFD的方法驗證了汽封間隙改變對壓縮機性能、腔室中壓力分布、旋轉(zhuǎn)因子的影響。Sun Zhigang等[2-3]研究了葉輪背部腔室對離心壓縮機性能的影響；還研究了輪盤腔室對氣體流場細節(jié)、推力、功率和效率的影響。王維民等[4]
中國重型裝備 2021年1期2021-01-25
- 類橢圓型采油螺桿泵舉升性能分析*
包含全部接觸帶和腔室。為避免遺漏被分割掉的接觸帶1的部分，采用導(dǎo)程的接觸帶結(jié)構(gòu)(見圖2)建立有限元模型，如圖3所示。圖2 導(dǎo)程接觸帶與腔室結(jié)構(gòu)Fig.2 Structure of contact belt and chamber at lead圖3 導(dǎo)程有限元模型Fig.3 Finite element model of lead螺桿泵轉(zhuǎn)子材料采用合金鋼，定子材料采用丁腈橡膠，橡膠材料的彈性模量遠小于金屬材料的彈性模量。因此，受到壓力作用時，定子橡膠的
石油機械 2021年1期2021-01-13
- 半潛船艉軸密封裝置設(shè)計與應(yīng)用
靠近海水側(cè)的密封腔室中加入壓縮空氣，一方面很好地感知船舶吃水帶來的壓力變化，另一方面能合理地調(diào)整各密封圈兩側(cè)的壓力，使每道密封圈的壓力差比較小，從而提高密封圈的壽命。平衡型空氣密封系統(tǒng)采用壓縮空氣的好處是通過在唇型密封圈之間提供可控的“緩沖區(qū)”，將艉管中的潤滑油與海水完全分離；空氣沒有污染，能很方便地控制壓力以減小唇形密封圈兩側(cè)的壓力差。半潛船的艉軸密封裝置分為后密封和前密封。從船艉向船艏依次將每個唇形密封圈進行編號：1#～6#。這樣6道密封圈就形成了7個
江蘇船舶 2020年5期2020-12-07
- 一種低壓啟動裝置及使用該裝置的花灑
置，其包括：啟動腔室：一端設(shè)置進水口、一端設(shè)置出水口，所述進水口與水源連通?；顒硬考夯顒釉O(shè)置在所述啟動腔室內(nèi)，水流從所述進水口一端進入推動所述活動部件運動，當(dāng)活動部件經(jīng)過一定行程到達所述出水口位置進行泄壓。傳動部件：活動設(shè)置在所述啟動腔室外，與所述活動部件相聯(lián)動并驅(qū)動后端部件運動。水壓驅(qū)動與水的直接噴射進行驅(qū)動有巨大的區(qū)別，水的直接噴射力依靠的是水流的噴射速度及噴射流量，當(dāng)水壓很低的時候，水流的流速及流量都很低。因此，依靠水流沖擊力不夠，不能驅(qū)動機構(gòu)工作
湖北農(nóng)機化 2020年16期2020-10-21
- 火源位置對腔室火流動特性影響的實驗研究
26)0 引言在腔室火災(zāi)中，外部新鮮空氣從腔室開口下部進入，氣體產(chǎn)物或未燃盡燃料從開口上部溢出。這一開口流動過程是維持腔室火災(zāi)的基本過程。腔室火流動特征與腔室內(nèi)溫度分布及熱量傳遞緊密耦合，共同決定了腔室火災(zāi)的蔓延特征。此外，開口流動特征決定了腔室通風(fēng)狀況，是建筑火災(zāi)安全設(shè)計中著重考慮的因素。對于充分發(fā)展的腔室火災(zāi)，開口質(zhì)量流率顯著影響了內(nèi)部燃料的質(zhì)量損失速率及熱釋放速率[1,2]。在實際腔室火災(zāi)中，室內(nèi)溫度在高度方向上往往呈現(xiàn)非均一分布，為理論表征帶來了極
火災(zāi)科學(xué) 2020年2期2020-05-26
- 變結(jié)構(gòu)反應(yīng)離子刻蝕腔室流場熱場的數(shù)值仿真
主要是等離子體在腔室里基片晶圓附近的分布。而反應(yīng)離子刻蝕(reactive ion etching，RIE)機腔室結(jié)構(gòu)和工藝參量又是影響等離子體的分布的主要因素，進而也是影響刻蝕均勻性重要因素[6-8]。為此，國內(nèi)外一些學(xué)者針對腔室的結(jié)構(gòu)和工藝參量做了一系列的研究[9-17]，對大口徑反應(yīng)離子刻蝕機腔室進行氣流和溫度的仿真分析計算是分析大口徑腔室里等離子體分布的基礎(chǔ)，進而是研究大口徑刻蝕工藝的均勻性的基礎(chǔ)，具有重要的學(xué)術(shù)價值和工程意義。本文中針對制作大口徑
激光技術(shù) 2020年1期2020-01-16
- 汽輪機葉頂汽封間隙泄漏渦動特性研究*
位置變化以及汽封腔室內(nèi)穩(wěn)定耗散渦的渦動規(guī)律。1 計算模型與數(shù)值方法文中以某300MW汽輪機高壓第二壓力級為研究對象，計算的物理模型由級內(nèi)相應(yīng)的靜葉、動葉和葉頂汽封區(qū)域構(gòu)成，并延長靜葉進口和動葉出口流域。如圖1所示為動靜葉與汽封。計算域為整圈汽封的0.02π弧度，其周向邊界采用周期性完全匹配連接。動葉圍帶面設(shè)置為旋轉(zhuǎn)壁面邊界條件，進口給定總壓、總溫邊界，出口給定靜壓邊界，其他壁面為無滑移絕熱邊界。流動工質(zhì)設(shè)定為高溫高壓的過熱蒸汽。圖1 汽輪機級的模型網(wǎng)格Fi
潤滑與密封 2019年10期2019-10-23
- CVD腔室結(jié)構(gòu)對流場的影響分析
要的影響。CVD腔室是沉積反應(yīng)進行的場所。反應(yīng)氣體從進入腔室進行沉積反應(yīng)到最后從腔室排出，整個過程中流場分布所影響的不僅僅是沉積的均勻性，還有氣體的擾動，流向，壓力等變化所帶來顆粒度問題。本文主要使用Solidworks Flow Simulation軟件進行腔室流場仿真，分析CVD腔室結(jié)構(gòu)變化對流場均勻性帶來的影響及對應(yīng)變化趨勢。關(guān)鍵詞：CVD 流場；均勻性；噴頭；腔室半導(dǎo)體芯片的制造過程中需要在襯底上生長固體材料層。CVD（化學(xué)氣相沉積（Chemica
科技風(fēng) 2019年1期2019-10-14
- 航空發(fā)動機空氣系統(tǒng)和熱分析的耦合計算與試驗驗證
流量平衡殘差修正腔室壓力，利用能量平衡計算冷氣溫度。2.2 熱分析計算流-熱耦合計算時，熱端部件的熱分析采用有限元方法進行，其基本原理是將熱分析對象離散成有限個單元，通過單元上的節(jié)點相互聯(lián)結(jié)成一個組合體。同時，將連續(xù)分布的溫度也離散為有限個溫度值，根據(jù)能量守恒原理對一定邊界和初始條件下的單元節(jié)點的熱平衡方程進行求解，得到各個節(jié)點的溫度值，進而求解出其他相關(guān)參數(shù)。熱分析計算采用ANSYS熱分析軟件，邊界條件為第三類邊界條件，邊界換熱系數(shù)采用經(jīng)驗關(guān)系式計算，邊
燃氣渦輪試驗與研究 2019年3期2019-07-12
- PECVD RF系統(tǒng)原理和故障改善
match，反應(yīng)腔室。RF Generator：射頻發(fā)生器，頻率13～14MHz可變。RF Match：射頻匹配器，由Load電容和Tune電容并聯(lián)構(gòu)成，Load電容實現(xiàn)負載電阻匹配，Tune電容實現(xiàn)負載相位匹配，與反應(yīng)室串聯(lián)。Process chamber：反應(yīng)腔室薄膜沉積的環(huán)境，plasma在上下極板中產(chǎn)生，可看成一個平行板電容器。1.2 RF系統(tǒng)匹配原理現(xiàn)假設(shè)RF Generator阻抗為ZS=RS+jXS，負載阻抗ZL=RL-jXL，其中R為電阻實
中國設(shè)備工程 2019年9期2019-06-03
- 壓電傳感器
強結(jié)構(gòu)?；木哂?span id="j5i0abt0b" class="hl">腔室。壓電層配置于基材上且包括位移區(qū)、多個感測區(qū)、多個縫隙、多個上電極及多個下電極。位移區(qū)位于腔室上方；多個感測區(qū)環(huán)繞連接于位移區(qū)的外緣且位于腔室上方；多個縫隙分別成形于多個感測區(qū)中任兩相鄰的感測區(qū)之間，各縫隙連通腔室；多個上電極分別配置于各感測區(qū)的頂面；多個下電極分別配置于各感測區(qū)的底面；加強結(jié)構(gòu)配置于位移區(qū)的底部。
傳感器世界 2019年3期2019-02-17
- 開口形式對回燃及腔室火災(zāi)過程的影響
[3]。因此研究腔室內(nèi)回燃及火災(zāi)發(fā)展過程已成為滅火救援領(lǐng)域的熱點研究課題。近些年，國內(nèi)外學(xué)者利用試驗、模擬方法對腔室火災(zāi)回燃及發(fā)展過程進行了大量研究。瑞典隆德大學(xué)的Gojkovic建立了全尺寸回燃腔室，開口因子為2.2 m×1.80 m，以天然氣為燃料，研究發(fā)現(xiàn)可燃氣體濃度是控制腔室回燃發(fā)生的重要因素[4]；新西蘭坎特伯雷大學(xué)的Fleischmann建立了1/2縮尺寸回燃腔室模型，開口因子為1.1 m×0.4 m，以天然氣和丙烷為燃料，研究發(fā)現(xiàn)可燃氣濃度達
中國人民警察大學(xué)學(xué)報 2018年12期2019-01-17
- 早期溢流及漏失的新型及時高精度監(jiān)測計量系統(tǒng)
過隔板分割為兩個腔室（圖2），分別為主腔室和副腔室，其上端分別安裝主腔室液位計和副腔室液位計；主腔室有主腔室入口管、主腔室出口管和灌漿管；主腔室入口管與井口防溢管出漿口（或者旋轉(zhuǎn)防噴器排漿口）連接，主腔室出口管與調(diào)節(jié)閥連接，灌漿管與灌漿泵的排出口連接，灌漿泵的吸入口與鉆井液池連接；副腔室加工有副腔室出口管，副腔室出口管與截止閥A連接；主腔室和副腔室之間安裝有連通管線，連通管線上安裝有截止閥B；可選的泵沖傳感器安裝在鉆井泵上，鉆井泵出口連接可選的鉆井泵出口流
天然氣工業(yè) 2018年12期2019-01-17
- 連續(xù)式微波干燥機腔體內(nèi)流場仿真分析與驗證
產(chǎn)生水蒸氣，避免腔室內(nèi)水蒸氣聚集[2]。干燥腔室作為干燥作業(yè)和氣流流動主要場所，其結(jié)構(gòu)影響內(nèi)部風(fēng)速分布均勻性，低風(fēng)速處對流傳質(zhì)效果差，過量通風(fēng)則帶走料層熱量，難以保證物料干燥品質(zhì)，增加干燥機能耗，因此改善腔室內(nèi)流場均勻性助于優(yōu)化微波能量利用[3]。現(xiàn)有關(guān)于改善流場分布均勻性研究中，數(shù)值模擬與臺架實驗結(jié)合已成為有效結(jié)構(gòu)優(yōu)化手段。代建武等應(yīng)用流體動力學(xué)軟件Fluent，分析氣流射流干燥機內(nèi)流場分布規(guī)律[4]；謝永康等將氣流分配室入口優(yōu)化為喇叭形，通過增加分流圓
東北農(nóng)業(yè)大學(xué)學(xué)報 2018年9期2018-10-19
- 輸液點滴觀察管液面高度控制裝置的設(shè)計
，擋板將液面上方腔室分割為A、B兩個獨立腔室。打開輸液管道上的開關(guān)，藥液從出口流出，腔室A液面下降，形成負壓，腔室B的藥液隨著擋塊B下方通道流入腔室A補充腔室A的藥液，使其穩(wěn)定在正常高度，與此同時，腔室B的藥液得到輸液瓶補充，腔室B的壓力穩(wěn)定，腔室A、B液面高度幾乎一致。輸液瓶藥液流盡后，腔室B的液體得不到補充，液面高度下降。當(dāng)藥液高度下降到擋塊A的上端以下時，如圖2所示，腔室A內(nèi)的液面被分為左右兩部分，因左邊藥液隨著出口流出液面繼續(xù)往下降，右邊藥液被擋板
現(xiàn)代制造技術(shù)與裝備 2018年8期2018-09-25
- 全自動磁控濺射鍍膜設(shè)備及工藝的研究
化程度不高、一個腔室有多個磁控靶造成靶之間污染等問題[2]。中國電子科技集團公司第四十八研究所成功研制出全自動磁控濺射鍍膜設(shè)備。這種磁控濺射鍍膜設(shè)備為單靶單腔，很好地解決了靶間污染問題，同時采用高真空機械手進行傳送片，減少了工藝腔室真空破壞，大大提高工作效率。1 磁控濺射鍍膜原理濺射鍍膜是以鍍膜材料為陰極，基片為陽極，利用磁場與電場交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運行，從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率，有效地提高氣體的離化率以增加濺射率的方法。電子在
電子工業(yè)專用設(shè)備 2018年1期2018-03-16
- 三菱M701F4燃機透平#2輪盤腔室溫度高處理
現(xiàn)的透平#2輪盤腔室溫度高事件經(jīng)過、原因分析、處理情況及采取的措施進行了詳細的論述，對同類型機組處理類似問題具有一定的參考作用。關(guān)鍵詞： M701F4；#2輪盤腔室溫度高；原因分析；處理引言燃氣輪機發(fā)電作為清潔能源得到了越來越多的青睞，由于發(fā)電效率高，功率大，三菱M701F4燃機在我國的投產(chǎn)項目不斷增加，但是關(guān)于M701F4的運行經(jīng)驗還比較有限。本文就三菱M701F4燃機在某次冷態(tài)啟動過程中出現(xiàn)的透平#2輪盤腔室溫度高事件的經(jīng)過、原因及處理進行了總結(jié)，希望
科學(xué)與財富 2017年27期2017-10-17
- 小型柴油機消聲器設(shè)計仿真分析
公式可設(shè)計，第一腔室進口管插入長度為20 mm，出口管入15 mm，第二腔插入管在二腔室的長度為42.5 mm，在第三腔室長度為15 mm，第三腔室的插入管在三腔室插入42.5 mm，出口管插入深度為15 mm，第四腔室進口管插入的長度為42.5 mm，出口管插入的長度為15 mm.2 消聲器模型的建立四腔阻性消聲器工作原理：簡單來說就是內(nèi)燃機排出的廢氣通過與發(fā)動機連接的法蘭管進入進氣口管，第一步先達到第一腔室，再經(jīng)過兩跟短插入管進入第二腔室，到達第二腔室
裝備制造技術(shù) 2017年7期2017-09-23
- 300mm硅片高精度真空傳輸系統(tǒng)設(shè)計*
求。其中硅片傳輸腔室采用真空設(shè)計，并優(yōu)化了真空腔室的結(jié)構(gòu)以適應(yīng)300mm硅片傳輸，真空度可達2×10-7Torr。真空機械手采用對稱連桿直驅(qū)機械手，大氣機械手采用R-θ型機械手，其重復(fù)精度均為±0.1mm。設(shè)計了AWC糾偏檢測系統(tǒng)，利用光電對射傳感器，實現(xiàn)對硅片的實時檢測及位置糾正。通過驗證性試驗數(shù)據(jù)分析，得到整個系統(tǒng)的整體精度、潔凈度、真空度和真空變化值滿足工作要求，驗證了設(shè)計的合理性。硅片傳輸；真空腔室；機械手；糾偏檢測系統(tǒng)0 引言硅片傳輸是硅片制造的
組合機床與自動化加工技術(shù) 2017年8期2017-09-08
- 冷卻孔布置對透平轉(zhuǎn)靜腔室性能影響的數(shù)值研究
孔布置對透平轉(zhuǎn)靜腔室性能影響的數(shù)值研究張峰,王新軍,李軍(西安交通大學(xué)能源與動力工程學(xué)院,710049,西安)采用SST湍流模型數(shù)值研究了透平第二級轉(zhuǎn)、靜腔室的流動與封嚴特性,分析了冷卻孔布置對腔室內(nèi)的流動、冷卻效率以及主流燃氣入侵特性的影響。研究表明:冷卻孔的位置對上游腔室內(nèi)的流動影響較大,對下游腔室基本無影響;冷卻孔距離上游越近,上游腔室的旋流比越大,級間密封進口的旋流比越小,密封進、出口壓比越小,相應(yīng)的流過級間密封的質(zhì)量流量越小,上游輪緣密封的燃氣入
西安交通大學(xué)學(xué)報 2016年3期2016-12-23
- 一種可靈活配置的機械手晶圓定心裝置
半導(dǎo)體行業(yè)中，各腔室之間或工位之間通常使用機械手來完成晶圓的傳送。在晶圓傳輸系統(tǒng)中，為避免取片時偏位或晶圓破損等客觀因素的發(fā)生，提高晶圓取放的準確度，需要設(shè)計并使用AWC（Active Wafer Centering）晶圓自動定心功能來進行檢測與校正。本文總結(jié)了半導(dǎo)體廠商對AWC功能的不同需求，設(shè)計了一種通過上位機軟件靈活配置AWC功能的機械手晶圓定心裝置，可有效解決AWC硬件資源的浪費及更改互聯(lián)電纜所造成的人力物力上的浪費問題?！娟P(guān)鍵詞】AWC功能 腔室
電子技術(shù)與軟件工程 2016年8期2016-07-10
- 用于控制氣體供應(yīng)的方法和控制器
種用于控制對工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)的方法（200）。此方法（200）包括以下步驟：由在工藝腔室（301）中提供的兩個或更多個傳感器（35、36、313、314）中的每一個測量（210）氣體參數(shù)；從所測量的氣體參數(shù)確定（220）組合的氣體參數(shù)；以及基于所確定的組合的氣體參數(shù)來控制（230）對工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)。
科技創(chuàng)新導(dǎo)報 2016年3期2016-05-30
- IC裝備真空腔室的氣密性檢測試驗及分析
牛?IC裝備真空腔室的氣密性檢測試驗及分析周玉林，楊鐵牛（五邑大學(xué) 機電工程學(xué)院，廣東 江門 529020）腔室氣密性是影響集成電路（IC）裝備真空腔室內(nèi)流場均勻性的重要因素，腔室漏率數(shù)量級不高于、極限真空度數(shù)量級不高于，才能滿足IC工藝的漏率要求. 本文用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測真空腔室泄漏情況，并將泄漏處逐一進行堵漏處理，使腔室氣密性能達到IC裝備的工藝要求. 用靜態(tài)升壓法計算得出腔室漏率為，極限真空度為，考慮用于實際生產(chǎn)的工藝腔室體積小，而本實驗腔室體積較大
五邑大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版） 2015年1期2015-10-22
- 多腔室穿孔管消聲器聲學(xué)特性分析
266108)多腔室穿孔管消聲器聲學(xué)特性分析鄭 晗1)周其斗1)毛艷蕾2)(海軍工程大學(xué)艦船工程系1)武漢 430033) (91206部隊2)青島 266108)采用一維解析法和三維有限元法分別預(yù)測了穿孔管消聲器的聲學(xué)性能，并與實驗值對比，結(jié)果表明，三維有限元法能在全頻段很好地預(yù)報消聲器的傳遞損失.采用有限元法研究了多腔室穿孔管消聲器的腔室順序、腔室數(shù)目、腔室劃分和腔室間距等因素對其聲學(xué)性能的影響，結(jié)果表明：多腔室穿孔管消聲器的傳遞損失值是組成它的多個單
- 定子橡膠泊松比對螺桿泵舉升性能影響研究*
中，采油螺桿泵各腔室之間的泄漏和密封始終保持一個動態(tài)的平衡。開始工作時，油液從吸入端進入，充滿螺桿泵各腔室并進入油管，隨著油管內(nèi)油液高度的不斷增加，螺桿泵排出端腔室內(nèi)壓力隨之升高，與其相鄰腔室之間的壓差不斷增大。當(dāng)相鄰腔室之間的壓差增大到大于密封帶上的接觸壓力時將發(fā)生泄漏，油液從高壓腔室竄流到低壓腔室，造成低壓腔室內(nèi)壓力升高，相鄰腔室之間的壓差將會減小，直至重新建立密封。以此類推，采油螺桿泵各腔室間則建立起一個相對穩(wěn)定的壓力場，壓力場的分布規(guī)律如下[2]：
化工機械 2015年5期2015-01-13
- 兩個腔室諧振箱在汽車進氣系統(tǒng)降噪中的應(yīng)用①
聲器.圖1 單個腔室赫姆霍茲消聲器2 兩個腔室赫姆霍茲消聲器結(jié)構(gòu)及特點赫姆霍茲消聲器只能消除一個頻率及其附近頻帶的噪聲.除了傳統(tǒng)單個腔室結(jié)構(gòu)外，也有兩個腔室的赫姆霍茲消聲器，圖2(a)和(b)分別表示外部串聯(lián)和內(nèi)部串聯(lián)的腔室結(jié)構(gòu).兩個腔室的赫姆霍茲消聲器可以消除兩個頻率的噪聲，如果兩個腔室的容積與一個腔室消聲器容積一樣的話，那么兩個腔室消聲器傳遞損失對應(yīng)的峰值要低些.圖3表示一個腔室和兩個腔室赫姆霍茲消聲器傳遞損失對比.圖2 兩個腔室赫姆霍茲消聲器[1]圖
佳木斯大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版） 2014年2期2014-06-14
- DN300鈉閥冷凍密封腔室的分析與設(shè)計
00鈉閥冷凍密封腔室的分析與設(shè)計胡麗娜，齊 敏，唐 龍（中國原子能科學(xué)研究院 快堆研究設(shè)計所，北京 102413）鈉閥的冷凍密封腔室是一個重要的部件，直接關(guān)系到鈉閥是否會發(fā)生泄漏。本文以大口徑鈉閥的國產(chǎn)化項目為依托，對冷凍密封腔室進行分析與設(shè)計。冷凍密封腔室是一個狹小的空間，內(nèi)部有氬氣、液態(tài)鈉、凝固鈉。本文利用FLUENT的冷凝模型結(jié)合氬氣的基本氣體方程，計算冷凍密封腔室內(nèi)部鈉的冷凝情況，確定凝固鈉的位置；在此基礎(chǔ)上，利用FLUENT計算得到的溫度和文獻中
原子能科學(xué)技術(shù) 2014年2期2014-05-25
- 低壓軸封進、回汽系統(tǒng)故障對凝汽器真空度的影響
于大氣壓。供至X腔室的汽封蒸汽在一側(cè)通過汽封漏入汽輪機，在另一側(cè)漏入Y腔室，由裝在軸封加熱器上的電動風(fēng)機使Y腔室壓力稍低于大氣壓，保證空氣通過外汽封從大氣漏入Y腔室。汽氣混合物通過一個與軸封加熱器相連的接口從Y腔室被抽出，當(dāng)排汽壓力超過X腔室壓力時，通過內(nèi)汽封圈發(fā)生反向流動，流量隨著排汽壓力的升高而增加。因此，高壓缸的各汽封約在10%負荷時變成自密封，中壓缸的各汽封約在25%負荷時變成自密封，此時，蒸汽從X腔室排到汽封系統(tǒng)的聯(lián)箱，再從聯(lián)箱流向低壓汽封，大約
綜合智慧能源 2012年3期2012-10-19
- G LB120-27型螺桿泵三維模型舉升壓力分析
液的舉升傳遞與各腔室之間油液的泄漏竄流是同時存在的,并且泄漏與定、轉(zhuǎn)子間的密封狀況有關(guān)。工作時隨著油管內(nèi)油液的增多,腔室的壓力也逐漸增加,相鄰腔室之間的壓差也隨之加大。當(dāng)相鄰腔室之間逐漸增大的壓差大于密封帶接觸壓力時,便發(fā)生油液的泄漏,此時密封帶上的接觸壓力即為密封與泄漏的臨界接觸壓力。半導(dǎo)程采油螺桿泵三維有限元模型密封帶如圖1。對低壓腔室施加0 MPa壓力,高壓腔室分別施加0、0.60、0.67、0.68 MPa壓力,應(yīng)用有限元分析軟件ANSYS11.0
石油礦場機械 2011年7期2011-12-11